ギガフォトン、ArFレーザ「GigaTwin」プラットフォームの
コストを削減する新技術を独自開発

2008/07/07

― 新技術導入により、すべてのGigaTwinプラットフォーム製品で
ランニングコストとダウンタイムの大幅低減を実現 ―

ギガフォトンは、同社のArFレーザプラットフォームであるGigaTwin向けに、ランニングコストとダウンタイムを大幅に削減する新技術を独自開発したと発表しました。ギガフォトンが独自開発した新技術は「GRYCOS」、「MPL」、「TGM」の3つで、導入によりレーザチャンバ、狭帯域化モジュール、ガス交換に関わるコストもしくはダウンタイムが、従来と比較して40～80%削減されるものと期待されます。同社は2008年第１四半期の販売台数で世界シェア50%を超えましたが(注)、CoOを大幅に低減する新技術でそのシェアを更に伸ばすことを目指しています。 (注: ギガフォトン独自調査 )

ギガフォトン株式会社

ギガフォトン、ArFレーザ「GigaTwin」プラットフォームのコストを削減する新技術を独自開発

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