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製品の歴史

年＼製品	光源	光の装置
1916年	家庭用白熱電球
1955年	ジアゾ式複写機用UVランプ
1957年	映写機用クセノンショートアークランプ
1960年	写真撮影用クセノンフラッシュランプ	IC焼付用光源装置
1961年	ヨウ素ランプ
1964年	自動車用ハロゲンランプ
1965年	印刷製版用クセノンパルスランプ	東京大学向けソーラシミュレータ
1966年		閃光分析装置
1969年	ソーラシミュレータ用水冷式クセノンショートアークランプ（30kW）
1971年	大阪大学向けレーザ核融合用大出力クセノンフラッシュランプ
1972年	水殺菌用UVランプ	水殺菌装置・空気殺菌装置
昭和48年 1973年		宇宙開発事業団向け大型ソーラシミュレータ微小面紫外線照射装置「スポットキュア」
1974年	UVインキ硬化用大出力UVランプ	紫外線瞬間乾燥照射装置「ユニキュアシステム」
1976年	大出力ハロゲン集魚灯「イカライト」
1977年	LSI焼付用ディープUVランプ
1978年	ミケロッティデザインのハロゲンフォグランプメタルハライド集魚灯「グリーンビーム」
1979年	ファイバオプティクスP.P.C.用低電力ハロゲンランプ	ファクシミリ用光定着システム
1980年		太陽電池検査用ソーラシミュレータ
1981年	強力殺菌線ランプ	強力紫外線殺菌装置「ユニライザー」
1982年		半導体製造用アニーリング装置
1983年		紫外線洗浄装置「フォトレックス」
1984年	液晶バックライト用小型蛍光ランプイメージリーダ用小型蛍光ランプ
1985年		紫外線ホトレジスト硬化装置「ユニハード」 CO₂レーザマーキング装置
1986年	サファイア電球	低温型紫外線瞬間乾燥照射装置半導体露光装置用光源ユニット
1987年	照明用赤外線反射膜付ハロゲンランプ	光触媒方式空気清浄機「ベルフロー」人工日焼け装置「サンタンライト・サニー」
1988年	遠赤外線ハロゲンヒータランプ	プラズマ重合膜レプリカ作製装置
1989年		TAB露光装置ウェハ周辺露光装置分光放射照度計
1990年	照明用メタルハライドランプ半導体露光用狭帯域i線ランプ
1991年	He-Cdレーザ
1992年		半導体ウェハ用ステップ露光装置
1993年	誘導体バリア放電エキシマランプ	多目的露光用光源装置「マルチライト」
1994年		大面積投影露光装置エキシマVUV/O₃装置
1995年	外部電極式希ガス蛍光ランプ	真空紫外線エキシマ光照射装置 Rf-CO₂レーザマーキング装置「ユニマークSC」
1996年	自動車用青色ハロゲンランプ	液晶基板用エキシマVUV/O₃装置 YAGレーザマーキングﾞ装置「ユニマークSY」
1997年	超小型電子ビーム「Min-EB」
1998年	プロジェクタ用NSHランプ
1999年		プリント基板用ステップ＆リピート投影露光装置
2001年		分光反射率計フラッシュランプアニール光源装置超小型電子線照射装置Min-EB STMチャンバー
2002年		TABテープエッジ露光装置
2003年		スーパーコネクト用ステップ&リピート投影露光装置「UX-7」
2004年		滴下式液晶パネル貼り合わせ用紫外線照射装置 TAB・COF自動外観検査装置スプレーコーター μTAS接着装置
2005年		マスク/ペリクル異物検査装置
2006年		赤外線治療器「セラビームVR630」
2007年	ArFエキシマランプ
2008年	水銀レス蛍光ランプ「XEFL^®」	エキシマライト光線療法機器「セラビーム^®UV308」微量血液検査システム「バナリスト^®エース」
2009年		スポットUV照射装置「SPL-1」
2010年		半導体パッケージ基板用モジュラー型ステッパ「UX-55」 LEDチップ製造用露光装置パワー半導体製造用露光装置
2011年	OA機器の原稿読み取り用LEDモジュール

沿革

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