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光微細加工

USHIO

ウシオの光微細加工を支える技術

干渉露光技術

干渉露光技術

干渉露光技術とは

光の干渉によって生じた光の強弱を露光のパターニングに用いる技術

ウシオの特徴

サブミクロンの露光パターンをシームレスかつ曲面形状にも描くことができる

保有設備一覧

主な装置

主な設備の仕様

用途 名称
露光 二光束干渉露光装置
各種ステッパ、アライナー
成膜 ALD成膜装置
マグネトロンスパッタ
エッチング プラズマドライエッチャー
カット ダイサー
洗浄 二流体洗浄装置
超臨界洗浄装置
塗布/現像 コータデベロッパ
評価 SEM(電子顕微鏡)
AFM(原子間力顕微鏡)
分光器
エリプソメータ