ウシオの光加熱 ~ハロゲンランプヒータ~ Special contents - Halogen Lamp heater

加熱装置システムから単一ヒータまで、量産ラインから実験用途まで、お客様のご要望に応じて提供します。 ハロゲンランプヒータとは、ハロゲンランプの赤外域の光を、効率よく取り出すために開発された加熱源で、投入電力の85%以上が熱に変換され、非常に高効率なエネルギー源です。 ハロゲンランプヒータによる加熱は、 フレキシビリティとコントロール性に富み、他の熱源にはない優れた特長を有し、半導体・LCD・太陽電池等の電子デバイス製造プロセス、自動車部品加熱、樹脂加熱から家電まで さまざまな産業分野にてウシオの熱処理システムが適用されています。
表層のみを瞬間加熱 フラッシュランプアニール 実験機もご用意しています。

主な特長 Main features

  • 1.高速昇降温 高スループット、サーマルバジェット低減
  • 2.非接触 コンタミフリーなクリーン加熱
  • 3.高効率 エネルギーロスなく、効率よく加熱
  • 4.出力安定性 大気真空等の雰囲気に左右されず安定出力
  • 5.広い温度領域 低温から高温まで熱プロセスに対応

  • 他の熱源との性能比較
  • ウシオのハロゲンヒータ製品例 カタログダウンロード[PDF]
  • ハロゲンヒータ用制御電源
  • 製品お問合わせ・資料請求

主な用途 Principal use

自動車

イメージ:自動車

金属材の圧延、鋼板のホットプレス、塗装乾燥(電着剤)などの工程において、従来の熱風炉、通電加熱、誘導加熱に替わるクリーンな加熱源として使用できます。

代表的な用途

  • 圧延
  • ダイクエンチ
  • 乾燥
  • 接着・接合
  • 成形
  • ホットスタンプ

主な試料

鋼板、SUS、アルミニウム、マグネシウム、鉄、電着剤、塗装、ピラー

半導体

イメージ:半導体

低温から高温まで、常圧から高真空まで、酸化膜形成、イオン注入後の活性化、シリサイド形成などの半導体製造プロセスにおいて、業界標準の熱源となっています。
また、アシストヒータや補助熱源として重要な役割を果たします。

代表的な用途

  • RTP
  • RTA
  • スパイクアニール
  • エピタキシャル
  • CVD
  • スパッタ
  • 洗浄
  • 乾燥
  • 真空装置

主な試料

シリコンウェハ、SiC、SOI、III-V化合物、Ge、SiGe、Si、純水、薬液

フラットパネルディスプレイ

イメージ:フラットパネルディスプレイ

「高速昇降温と非接触加熱」が可能で、さらに基板大型化に対応するため、最長2.5Mまで、長尺化を可能にしました。
高真空のためのチャンバー内ベークにも有効です。

代表的な用途

  • スパッタ
  • CVD
  • 水分除去
  • 結晶化
  • 焼成
  • プリヒート

主な試料

液晶用ガラス、PDP用ガラス、有機EL、LTPS、ITO膜、カラーフィルタ、フィルム


エネルギー(太陽電池/燃料電池)

イメージ:太陽電池/燃料電池

ハロゲンランプヒータによる「非接触且つ高速昇降温」は、焼成炉、CVD、乾燥などの熱処理装置において搭載されています。

代表的な用途

  • CVD
  • 焼成炉
  • スバッタ
  • ラミレータ
  • 改質
  • 乾燥

主な試料

単結晶シリコン、多結晶シリコン、アモルファスシリコン、フィルム、CIGS、グラファイト

樹脂・炭素繊維

イメージ:樹脂・炭素繊維

プラスチックのような透過性のある材料を加熱する場合は、ハロゲンランプヒータによる表裏均一な光加熱が有効です。

代表的な用途

  • 成形
  • 硬化
  • 結晶化
  • 溶着
  • 乾燥
  • 接合

主な試料

ペットボトル、プリフォーム、PET、エポキシ、アクリル、プラスチック、CFRP、プレプレグ

レンズ・食品・家電

イメージ:レンズ・食品・家電

レンズを成形するための金型の加熱、また、清潔な衛生環境が求められる食品の保温などにおいては、ハロゲンヒータの非接触加熱が有効です。

代表的な用途

  • 成形
  • 金属加熱
  • 保温
  • 焙煎
  • 殺菌
  • 乾燥


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お問い合わせ

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東京 TEL: 03-5657-1012 / FAX: 03-5657-1030
大阪 TEL: 06-6306-5711 / FAX: 06-6306-5718


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