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露光の検索結果

製品名 製品説明 主な用途・分野 波長
分割投影露光装置「UX-5シリーズ」「UX-7シリーズ」 分割投影露光装置「UX-5シリーズ」「UX-7シリーズ」

ウシオでは、サーバーやPC、スマートフォン、タブレット端末等の携帯機器に採用される最先端パッケージングアプリケーションに特化したステッパーを提供してきました。ウシオが長年培った光源・光学技術に独自の大面積投影レンズ技術を用い、パネルサイズに対応したステージを用いたパッケージ基板向けステッパーです。最先端パッケージ基板に求められる高い解像性や重ね合せ精度を実現しつつ、高生産性を達成しています。

【要素技術】
・世界シェアNo.1の超高圧UVランプ搭載
・高い均一度を誇る独自の照射光学系 ・他に類を見ない大面積投影レンズ

投影露光装置「UX-4シリーズ」 投影露光装置「UX-4シリーズ」

ウシオが長年培った光源・光学技術に独自の大面積投影レンズ技術を用いたプロジェクションアライナーです。8インチまでのウェハをマスクと非接触で一括露光することが可能です。広い焦点深度を用いた平らでないウェハに対する露光を可能にし、プロキシミティアライナーには無い高生産性、高歩留りを達成します。

【要素技術】
・世界シェアNo.1の超高圧UVランプ搭載
・高い均一度を誇る独自の照射光学系
・他に類を見ない大面積投影レンズ

プロキシミティ露光装置「UX-3シリーズ」 プロキシミティ露光装置「UX-3シリーズ」

ウシオが長年培った光源・光学技術を用いたマスクアライナーです。ihg線のみならず、Deep UV波長帯域にも対応した露光装置です。

【要素技術】
・世界シェアNo.1の超高圧UVランプ搭載
・高い均一度を誇る独自の照射光学系

マスクアライナー「UX-1シリーズ」 マスクアライナー「UX-1シリーズ」

ウシオが長年培った光源・光学技術を用いたマスクアライナーです。ihg線のみならず、Deep UV波長帯域にも対応した露光装置です。

【要素技術】
・世界シェアNo.1の超高圧UVランプ搭載
・高い均一度を誇る独自の照射光学系

ロールtoロール投影露光装置「UFXシリーズ」 ロールtoロール投影露光装置「UFXシリーズ」

累積800台以上の市場実績がある、ウシオのフレキシブル基板用プロキシミティ/投影露光装置のラインナップ。専用に開発した高出力ランプ、定評のある光学系技術を駆使した投影レンズにより、高効率で高解像度な露光を実現します。

【要素技術】
・世界シェアNo.1の超高圧UVランプ搭載
・高い均一度を誇る独自の照射光学系
・他に類を見ない大面積投影レンズ

EUV光源 (次世代半導体用マスク検査および各種開発用途向け) EUV光源 (次世代半導体用マスク検査および各種開発用途向け) 半導体業界では、より高性能でコンパクト、更に低消費電力の半導体の実現に向け、超微細化露光技術の開発が進められています。その中で有力視されているのが波長13.5nmのEUV(Extreme Ultraviolet)光による「EUV露光」です。 ウシオは、これまで培ってきたEUVの研究・開発実績を活かし、EUV露光用のマスク検査装置向けを始め、各種開発用途向けのEUV Xe DPP およびEUV Sn LDP光源の開発を行なっています。
微細加工サービス 光技術利用した微細加工事業です。露光技術による微細パターニングをベースとし、様々な形状加工や特殊用途の光学素子のニーズにお応えします。受託加工とカスタム機能部品販売のサービスにより、試作から量産まで迅速かつ安定したサービスを提供いたします。
プリンタブル パターニング用光源ユニット 「VUVアライナー」 プリンタブル パターニング用光源ユニット 「VUVアライナー」

世界初ランプ方式の真空紫外平行光アライナー。
真空紫外光による親水化パターニング方式により従来のリソグラフィープロセスに比べ大幅な工程短縮を実現すると共に印刷方式では得られない微細パターン形成を実現します。有機トランジスタ、ウェアラブルセンサー、バイオデバイスなど新しい領域の実現へ道を開きます。また、新開発の高輝度パルス光源(PAT出願中)を平行光化することで、L/S=5/5μm以下の解像性能を実現。大面積化のご相談も承ります。
※使用レジスト:東京応化工業株式会社製:TArF-P6111(膜厚260nm)

多目的均一照射ユニット「Deep UV マルチライト」 多目的均一照射ユニット「Deep UV マルチライト」 Deep UVマルチライトは均一・平行光源として豊富な実績のあるマルチライトシリーズの基本構成はそのままに波長230nm~330nmのDeep UV領域に最適化した光源ユニットです。 リソグラフィー用途はもちろん、表面改質光源、各種光化学反応評価光源としても応用頂けます。
露光装置用光源ユニット 「マルチライト」 露光装置用光源ユニット 「マルチライト」 均一照射光源として、精密パターン露光、半導体素子デバイスのパターン露光、ウェハ露光など、さまざまな用途に使用されます。
【この製品は、ウシオライティングの製品です】

超高圧UVランプ(~500W) 超高圧UVランプ(~500W) ウシオの超高圧UVランプは、紫外線波長の中でも、特に3線(436nm・405nm・365nm)を有効に活用できるように開発されており、長寿命で安定した放射照度を持つ高輝度光源です。 アークサイズが極めて点光源に近いため、光学系での光の集中・拡散が容易で、均一な照度分布が得られます。
超高圧UVランプ(500W~35kW) 超高圧UVランプ(500W~35kW) 装置メーカーとの共同開発体制を背景に、デバイスメーカーのさまざまな要望に応える開発を進め、高い評価と信頼を得ているリソグラフィ用UVランプです。 500w~35kwクラスまでの幅広いラインナップで、生産性向上・歩留まり改善などに最適な光をご提案します。また、お客さまの新規装置開発にあわせたランプ開発も承ります。 ■取扱説明書はこちら(会員登録が必要です)
Deep UVランプ Deep UVランプ キセノンランプをベースに水銀などの金属蒸気を封入した高輝度・点光源のランプです。 230nm~320nm付近の遠紫外域の放射に特徴があり、短波長を利用した光化学反応、UVキュアリング、リソグラフィなどで活用されています。
青紫色高出力レーザダイオード 青紫色高出力レーザダイオード

高出力(150mW~1W)、長寿命(10,000時間動作)を実現したCAN型タイプマルチモード青紫色レーザです。
PCB基板用直接描画露光装置用の光源や、医療、バイオ・メディカル、計測用途に最適です。
【この製品は、ウシオオプトセミコンダクターの製品です】

モールドタイプ LEDモジュール モールドタイプ LEDモジュール

紫外から近赤外まで幅広い波長と豊富なレンズ・モールド径(3mm、4mm、5mm、7mm、10mm)をラインナップしています。
【この製品は、ウシオオプトセミコンダクターの製品です】

高出力イルミネータ LEDモジュール 高出力イルミネータ LEDモジュール

TO-66ステム、アルミセラミックプレートに60個のチップを搭載した超高出力LEDです。
波長は紫外から近赤外までお選びいただけます。
【この製品は、ウシオオプトセミコンダクターの製品です】

ステムタイプ LEDモジュール ステムタイプ LEDモジュール

紫外・可視・近赤外の波長領域から目的のチップをセレクトして1パッケージ化が可能です。
フォトダイオードを内蔵させたタイプもあります。
【この製品は、ウシオオプトセミコンダクターの製品です】

SMDタイプ LEDモジュール SMDタイプ LEDモジュール

表面実装型のLEDです。
セラミックパッケージにレンズを搭載し指向性を高めたタイプもご用意しています。
【この製品は、ウシオオプトセミコンダクターの製品です】

高出力トップレンズLED LEDモジュール 高出力トップレンズLEDモジュール

1mm角の大型チップを、金属製ヒートシンクと一体化した基板に実装し、スーパービームレンズで配光を制御した超高出力LEDです。
【この製品は、ウシオオプトセミコンダクターの製品です】

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