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MEMS・電子部品の検索結果

製品名 製品説明 主な用途・分野 波長
電源修理サービス 各種電源の修理を承っております。中国、韓国、台湾に修理業務体制を整えており、電源の故障等のトラブルが発生した際、日本に送り返すことなく現地で解決することが可能です。保守修理の際にはお気軽にご相談ください。 技術紹介ページへ 本技術にご興味がある方はこちらまでお問合せください お問い合わせフォームへ
分割投影露光装置「UX-5シリーズ」「UX-7シリーズ」 分割投影露光装置「UX-5シリーズ」「UX-7シリーズ」

ウシオでは、サーバーやPC、スマートフォン、タブレット端末等の携帯機器に採用される最先端パッケージングアプリケーションに特化したステッパーを提供してきました。ウシオが長年培った光源・光学技術に独自の大面積投影レンズ技術を用い、パネルサイズに対応したステージを用いたパッケージ基板向けステッパーです。最先端パッケージ基板に求められる高い解像性や重ね合せ精度を実現しつつ、高生産性を達成しています。

【要素技術】
・世界シェアNo.1の超高圧UVランプ搭載
・高い均一度を誇る独自の照射光学系 ・他に類を見ない大面積投影レンズ

投影露光装置「UX-4シリーズ」 投影露光装置「UX-4シリーズ」

ウシオが長年培った光源・光学技術に独自の大面積投影レンズ技術を用いたプロジェクションアライナーです。8インチまでのウェハをマスクと非接触で一括露光することが可能です。広い焦点深度を用いた平らでないウェハに対する露光を可能にし、プロキシミティアライナーには無い高生産性、高歩留りを達成します。

【要素技術】
・世界シェアNo.1の超高圧UVランプ搭載
・高い均一度を誇る独自の照射光学系
・他に類を見ない大面積投影レンズ

プロキシミティ露光装置「UX-3シリーズ」 プロキシミティ露光装置「UX-3シリーズ」

ウシオが長年培った光源・光学技術を用いたマスクアライナーです。ihg線のみならず、Deep UV波長帯域にも対応した露光装置です。

【要素技術】
・世界シェアNo.1の超高圧UVランプ搭載
・高い均一度を誇る独自の照射光学系

マスクアライナー「UX-1シリーズ」 マスクアライナー「UX-1シリーズ」

ウシオが長年培った光源・光学技術を用いたマスクアライナーです。ihg線のみならず、Deep UV波長帯域にも対応した露光装置です。

【要素技術】
・世界シェアNo.1の超高圧UVランプ搭載
・高い均一度を誇る独自の照射光学系

ロールtoロール投影露光装置「UFXシリーズ」 ロールtoロール投影露光装置「UFXシリーズ」

累積800台以上の市場実績がある、ウシオのフレキシブル基板用プロキシミティ/投影露光装置のラインナップ。専用に開発した高出力ランプ、定評のある光学系技術を駆使した投影レンズにより、高効率で高解像度な露光を実現します。

【要素技術】
・世界シェアNo.1の超高圧UVランプ搭載
・高い均一度を誇る独自の照射光学系
・他に類を見ない大面積投影レンズ

エキシマランプ/エキシマ光照射ユニット エキシマランプ/エキシマ光照射ユニット

エキシマVUV光は希ガスや希ガスハライド化合物のランプから生みだされる非常にエネルギーの高い光です。

希ガスや希ガスハライド化合物のガスが封じられたランプに外部から高いエネルギー電子を与えると放電プラズマ(誘電体バリア放電)が多数発生します。このプラズマは高いエネルギー電子を包含しており、かつ瞬時に消滅するという特徴を持っています。このプラズマ放電により、放電ガス(希ガス)の原子が励起され、瞬間的にエキシマ状態(Xe)となります(エネルギーの高い軌道原子に励起され、エキシマ励起分子になります)。このエキシマ状態から元の状態(基底状態)に戻るとき、そのエキシマ特有のスペクトルを発光します。この光をエキシマVUV光と呼んでいます。

■取扱説明書や仕様書はこちら(会員登録が必要です)

プリンタブル パターニング用光源ユニット 「VUVアライナー」 プリンタブル パターニング用光源ユニット 「VUVアライナー」

世界初ランプ方式の真空紫外平行光アライナー。
真空紫外光による親水化パターニング方式により従来のリソグラフィープロセスに比べ大幅な工程短縮を実現すると共に印刷方式では得られない微細パターン形成を実現します。有機トランジスタ、ウェアラブルセンサー、バイオデバイスなど新しい領域の実現へ道を開きます。また、新開発の高輝度パルス光源(PAT出願中)を平行光化することで、L/S=5/5μm以下の解像性能を実現。大面積化のご相談も承ります。
※使用レジスト:東京応化工業株式会社製:TArF-P6111(膜厚260nm)

多目的均一照射ユニット「Deep UV マルチライト」 多目的均一照射ユニット「Deep UV マルチライト」 Deep UVマルチライトは均一・平行光源として豊富な実績のあるマルチライトシリーズの基本構成はそのままに波長230nm~330nmのDeep UV領域に最適化した光源ユニットです。 リソグラフィー用途はもちろん、表面改質光源、各種光化学反応評価光源としても応用頂けます。
超高圧UVランプ(500W~35kW) 超高圧UVランプ(500W~35kW) 装置メーカーとの共同開発体制を背景に、デバイスメーカーのさまざまな要望に応える開発を進め、高い評価と信頼を得ているリソグラフィ用UVランプです。 500w~35kwクラスまでの幅広いラインナップで、生産性向上・歩留まり改善などに最適な光をご提案します。また、お客さまの新規装置開発にあわせたランプ開発も承ります。 ■取扱説明書はこちら(会員登録が必要です)
フラッシュランプアニール 瞬間加熱・高温焼成 フラッシュランプアニール UVから可視・赤外域までの連続波長を有したクセノンフラッシュランプの光により、数百μsec~数十msecの点灯時間で、基板・材料の表面へ非接触・瞬間加熱を実現。 Si/SiCウェーハ、ガラス、プラスチックフィルム、フレキシブル基板など多様な研究開発から生産(製造)ライン用途まで適用が可能です。
UV-LED 均一ライン照射光源「UniLine」 UV-LED 均一ライン照射光源「UniLine」 ・複数波長に対応した、高照度で均一性の高いUV照射が可能なライン光源。 ・独自の光学設計で10mmから最大150mmまでの多様な照射距離に対応。 ・ワークサイズ、用途に応じて照射長をカスタマイズが可能です。
UV-LED 均一面照射光源「UniField」 UV-LED 均一面照射光源「UniField」 ・複数波長から選択可能な、大面積、高照度で均一性の高いUV-LED照射ユニット。 ・ウシオ独自のレンズを搭載することで、照射距離が伸びることによる照度低下を抑えることに成功。  厚みの異なる様々なワークへも微調整なしに照射が可能です。 ・□100、150、200を標準サイズとしてラインナップ ・複数波長混合タイプも設計可能です。
紫外線照度計「UIT-201」 紫外線照度計「UIT-201」 光の専門メーカーとしての経験と実績から生まれた「ユニメーターシリーズ」。ユーザーの立場から「本当の使いやすさ」をカタチにした、コンパクトな光測定器です。照光装置、UVキュアリング、洗浄・殺菌装置など、ご要望に応じた照度管理をご提案します。 ■校正のお申し込みはこちら ■トラブルシューティングはこちら(会員登録が必要です)
紫外線積算光量計「UIT-250」 紫外線積算光量計「UIT-250」 光の専門メーカーとしての経験と実績から生まれた「ユニメーターシリーズ」。ユーザーの立場から「本当の使いやすさ」をカタチにした、コンパクトな光測定器です。照光装置、UVキュアリング、洗浄・殺菌装置など、ご要望に応じた照度管理をご提案します。 ■校正のお申し込みはこちら ■トラブルシューティングはこちら(会員登録が必要です) 【鉛フリーへの対応について】 紫外線照度計 「UIT-250」 の付属品(アナログ出力ケーブル)には現在共晶はんだが使用されています。 2016年4月以降のご購入品については、ご希望に応じて鉛フリーと交換させていただきます。
薄型紫外線照度計「UIT-θLED」 薄型紫外線照度計「UIT-θLED」 薄さ4.9mm、ワイヤレスタイプのLED専用照度計です。 光学フィルムのコーティング、精密部品やレンズの接着、UV印刷の工程など光源部と照射対象物の距離が狭い環境下でも測定することができます。 ■校正のお申し込みはこちら ■取扱説明書やトラブルシューティングはこちら(会員登録が必要です)
分光放射照度計「USR-45シリーズ」 分光放射照度計「USR-45シリーズ」 ウシオの照度計は、産総研等で値付けされた標準電球をベースにトレースされた絶対値が測定できる照度計です。紫外・可視・赤外光までの幅広い帯域、また、定常光・フラッシュ光・LED等様々な光源を測定することが可能です。 ■校正のお申し込みはこちら ■取扱説明書やトラブルシューティングはこちら(会員登録が必要です)
モールドタイプ LEDモジュール モールドタイプ LEDモジュール

紫外から近赤外まで幅広い波長と豊富なレンズ・モールド径(3mm、4mm、5mm、7mm、10mm)をラインナップしています。
【この製品は、ウシオオプトセミコンダクターの製品です】

高出力イルミネータ LEDモジュール 高出力イルミネータ LEDモジュール

TO-66ステム、アルミセラミックプレートに60個のチップを搭載した超高出力LEDです。
波長は紫外から近赤外までお選びいただけます。
【この製品は、ウシオオプトセミコンダクターの製品です】

ステムタイプ LEDモジュール ステムタイプ LEDモジュール

紫外・可視・近赤外の波長領域から目的のチップをセレクトして1パッケージ化が可能です。
フォトダイオードを内蔵させたタイプもあります。
【この製品は、ウシオオプトセミコンダクターの製品です】

SMDタイプ LEDモジュール SMDタイプ LEDモジュール

表面実装型のLEDです。
セラミックパッケージにレンズを搭載し指向性を高めたタイプもご用意しています。
【この製品は、ウシオオプトセミコンダクターの製品です】

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