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製品名 製品説明 主な用途・分野 波長
エキシマランプ/エキシマ光照射ユニット エキシマランプ/エキシマ光照射ユニット

エキシマVUV光は希ガスや希ガスハライド化合物のランプから生みだされる非常にエネルギーの高い光です。

希ガスや希ガスハライド化合物のガスが封じられたランプに外部から高いエネルギー電子を与えると放電プラズマ(誘電体バリア放電)が多数発生します。このプラズマは高いエネルギー電子を包含しており、かつ瞬時に消滅するという特徴を持っています。このプラズマ放電により、放電ガス(希ガス)の原子が励起され、瞬間的にエキシマ状態(Xe)となります(エネルギーの高い軌道原子に励起され、エキシマ励起分子になります)。このエキシマ状態から元の状態(基底状態)に戻るとき、そのエキシマ特有のスペクトルを発光します。この光をエキシマVUV光と呼んでいます。

表面処理用エキシマ照射装置のご紹介

■取扱説明書や仕様書はこちら(会員登録が必要です)

LED方式平行光UV照射ユニット UV-LED  Multi 「LED方式多目的平行光ユニット」は、ウシオ独自のLED光学技術を用いて作られた、 i,h,g線それぞれを点灯・調光制御可能な平行光光源です。様々なアプリケーションにて、 LED光を用いた、新たなプロセス実現の研究・開発にて、大いに貢献します。
test オールインワン オンサイト卓上検査装置 ハイスループットでありながら、省スペースかつシンプルで使いやすい操作性を実現した日本電子製卓上SEM(JCM-7000)です。光学カラー画像からSEM観察像へのシームレス(継ぎ目の無い)操作が可能なだけでなく、SEM観察しながらリアルタイムで元素分析が可能です。 光学顕微鏡では困難な「組成の異なる異物の検出」、「透明な物質の表面観察」、「元素分析」を製造現場で実現します。
大気圧プラズマ用 リアクター 長年に渡るランプで培った製造技術を応用し、大気圧プラズマリアクターを開発いたしました。軽量で低消費電力ながら高い表面改質効果が得られます。弊社独自のDBD方式により低パーティクルでクリーンなプラズマが発生し、ポリプロピレン(PP)や液晶ポリマー(LCP)、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)など様々な素材へ対応可能です。プラズマ照射幅もご要望に応じてカスタマイズし、電源とのセットで装置としてのご提供も可能です。
ウシオのレーザーダイオード ウシオのレーザーは、光における40年以上の豊富な経験に裏打ちされた確かな技術をベースに、ディスプレイ&エンターテインメント、メディカル&ヘルスケア、 センシング&メジャメント(センサー、レベラー、プリンター用)、リソグラフィ(DI用)など様々なアプリケーション向けに、青紫~赤外波長帯まで幅広い製品ラインナップでお客様のご要望にお応えします。
ウシオの光加熱(サーマルプロセス)ソリューション ウシオのサーマルプロセス向け光加熱製品(ハロゲンランプヒータ、フラッシュランプ、LEDユニット)および関連技術をご紹介しています。
分割投影露光装置「UX-5シリーズ」 分割投影露光装置「UX-5シリーズ」

ウシオでは、サーバーやPC、スマートフォン、タブレット端末等の携帯機器に採用される最先端パッケージングアプリケーションに特化したステッパーを提供してきました。ウシオが長年培った光源・光学技術に独自の大面積投影レンズ技術を用い、パネルサイズに対応したステージを用いたパッケージ基板向けステッパーです。最先端パッケージ基板に求められる高い解像性や重ね合せ精度を実現しつつ、高生産性を達成しています。

【要素技術】
・世界シェアNo.1の超高圧UVランプ搭載 ・高い均一度を誇る独自の照射光学系 ・他に類を見ない大面積投影レンズ ・基板特有の歪に対応したアライメント技術

投影露光装置「UX-4シリーズ」 投影露光装置「UX-4シリーズ」

ウシオが長年培った光源・光学技術に独自の大面積投影レンズ技術を用いたプロジェクションアライナーです。8インチまでのウェハをマスクと非接触で一括露光することが可能です。広い焦点深度を用いた平らでないウェハに対する露光を可能にし、プロキシミティアライナーには無い高生産性、高歩留りを達成します。

【要素技術】
・世界シェアNo.1の超高圧UVランプ搭載 ・高い均一度を誇る独自の照射光学系 ・他に類を見ない大面積投影レンズ

プロキシミティ露光装置「UX-3シリーズ」 プロキシミティ露光装置「UX-3シリーズ」 本製品は生産終了となりました。 プロキシミティ露光装置「UX-3シリーズ」生産終了のご案内(396KB)
代替品はこちら→オート機

ウシオが長年培った光源・光学技術を用いたマスクアライナーです。ihg線のみならず、Deep UV波長帯域にも対応した露光装置です。

【要素技術】
・世界シェアNo.1の超高圧UVランプ搭載 ・高い均一度を誇る独自の照射光学系

マスクアライナー「UX-1シリーズ」 マスクアライナー「UX-1シリーズ」 本製品は生産終了となりました。 マスクアライナー「UX-1シリーズ」生産終了のご案内(396KB)
代替品はこちら→マニュアル機

ウシオが長年培った光源・光学技術を用いたマスクアライナーです。ihg線のみならず、Deep UV波長帯域にも対応した露光装置です。

【要素技術】
・世界シェアNo.1の超高圧UVランプ搭載 ・高い均一度を誇る独自の照射光学系

ロールtoロール投影露光装置「UFXシリーズ」 ロールtoロール投影露光装置「UFXシリーズ」

累積800台以上の市場実績がある、ウシオのフレキシブル基板用プロキシミティ/投影露光装置のラインナップ。専用に開発した高出力ランプ、定評のある光学系技術を駆使した投影レンズにより、高効率で高解像度な露光を実現します。

【要素技術】
・世界シェアNo.1の超高圧UVランプ搭載 ・高い均一度を誇る独自の照射光学系 ・他に類を見ない大面積投影レンズ

スポットUV照射装置 「スポットキュア®シリーズ」 スポットUV照射装置 「スポットキュアシリーズ」 約30年間にわたり培ってきた光システム技術を活かした「スポットキュア シリーズ」は、使いやすさを追求し、さらに環境にも配慮。ラインやワークの条件に合わせ、レンズやユニットなどもオプションも豊富に取り揃えています。 取扱説明書やトラブルシューティング、外観図CADデータはこちら (会員登録が必要です)

『塗布と塗膜』2015年11月号 PDF(2.31MB)

多目的均一照射ユニット「Deep UV マルチライト」 多目的均一照射ユニット「Deep UV マルチライト」 Deep UVマルチライトは均一・平行光源として豊富な実績のあるマルチライトシリーズの基本構成はそのままに波長230nm~330nmのDeep UV領域に最適化した光源ユニットです。 リソグラフィー用途はもちろん、表面改質光源、各種光化学反応評価光源としても応用頂けます。
超高圧UVランプ(500W~35kW) 超高圧UVランプ(500W~35kW) 装置メーカーとの共同開発体制を背景に、デバイスメーカーのさまざまな要望に応える開発を進め、高い評価と信頼を得ているリソグラフィ用UVランプです。 500w~35kwクラスまでの幅広いラインナップで、生産性向上・歩留まり改善などに最適な光をご提案します。また、お客さまの新規装置開発にあわせたランプ開発も承ります。 ■取扱説明書はこちら(会員登録が必要です) ■よくあるご質問はこちら
Deep UVランプ Deep UVランプ キセノンランプをベースに水銀などの金属蒸気を封入した高輝度・点光源のランプです。 230nm~320nm付近の中紫外域の放射に特徴があり、短波長を利用した光化学反応、UVキュアリング、リソグラフィなどで活用されています。
フラッシュランプアニール 瞬間加熱・高温焼成 フラッシュランプアニール UVから可視・赤外域までの連続波長を有したクセノンフラッシュランプの光により、数百μsec~数十msecの点灯時間で、基板・材料の表面へ非接触・瞬間加熱を実現。 Si/SiCウェーハ、ガラス、プラスチックフィルム、フレキシブル基板など多様な研究開発から生産(製造)ライン用途まで適用が可能です。
面照射UV-LED照射器「UniCube Mシリーズ」シリーズ 面照射UV-LED照射器「UniCube Mシリーズ」 ウシオの「UniCube Mシリーズ」は、UV感光樹脂を用いた接着・硬化・剥離用途で使用される面一括照射タイプのUV-LED照射器です。 前後左右4方向に連結させるセミカスタオーダー方式を採用することで、面一括照射タイプでご要望の多い様々なワークサイズへの対応や高い照度による高スループット、 早期復旧・高いメンテナンス性がご提供可能になりました。 各種サイズのデモ機をご用意しておりますので、お客様のワークを用いた照射実験が可能です。 UVランプからの置き換えや新規プロセスへのご検討に、是非ご活用ください。
紫外線照度計「UIT-201」 紫外線照度計「UIT-201」 光の専門メーカーとしての経験と実績から生まれた「ユニメーターシリーズ」。ユーザーの立場から「本当の使いやすさ」をカタチにした、コンパクトな光測定器です。照光装置、UVキュアリング、洗浄・殺菌装置など、ご要望に応じた照度管理をご提案します。 ■校正のお申し込みはこちら ■トラブルシューティングはこちら(会員登録が必要です) 弊社製紫外線照度計(UIT-201シリーズ)用受光器シリアル番号表記方法変更のご案内(382KB)
紫外線積算光量計「UIT-250」 紫外線積算光量計「UIT-250」 光の専門メーカーとしての経験と実績から生まれた「ユニメーターシリーズ」。ユーザーの立場から「本当の使いやすさ」をカタチにした、コンパクトな光測定器です。照光装置、UVキュアリング、洗浄・殺菌装置など、ご要望に応じた照度管理をご提案します。 ■校正のお申し込みはこちら ■トラブルシューティングはこちら(会員登録が必要です)
薄型紫外線照度計「UIT-θシリーズ」 紫外線薄型照度計「UIT-θシリーズ」 薄さ4.9mm、ワイヤレスタイプの照度計です。 光学フィルムのコーティング、精密部品やレンズの接着、UV印刷の工程など光源部と照射対象物の距離が狭い環境下でも測定することができます。 ■校正のお申し込みはこちら ■取扱説明書やトラブルシューティングはこちら(会員登録が必要です)
分光反射率計「URE-60」 分光反射率計「URE-60」 曲面(平面から±R50㎜)を含む光学部品の分光反射率(紫外~近赤外域)を瞬時に測定します。ウシオ独自の測定部により、オンサイトで大型製品の現品測定が可能です。 ■校正のお申し込みはこちら ■取扱説明書やトラブルシューティングはこちら(会員登録が必要です)
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