スプレーコーター

従来のスピンコーターでは不可能とされた、基板（3D構造）の凹凸形状に沿ったレジスト塗布を可能にしました。

特徴

基板のボトム部でも、ピンホールレスのレジスト塗布を可能にしました。

ウェハを温調することで、段差トップ部にレジストを定着させ、段切れのないレジスト塗布を可能にしました。

高精度な精密部品を採用することで、繰り返し塗布などでも正確なレシピ管理を可能にしました。

4、6、8インチウェハ対応枚葉装置、自動搬送装置など、各種オプションも充実しています。

非常にシンプルな装置構成のため、メンテナンスが簡便です。自動洗浄機能等のオプションもご用意しています。

製品を使用しての各種テストが可能です。詳細はお問い合わせください。
※ご依頼内容によって、ご希望に添いかねる場合もございますので、予めご了承ください。

東京　TEL: 03-6361-5592 川北正人 / FAX: 03-6361-5599