マイクロTASの基板となる、ガラスとPDMS（シリコンゴム）を、接着剤を使用せず、真空紫外光で接着させる装置です。

1. 172nmのVUV（真空紫外光)を効率よく発光
   化学反応に必要な紫外線エネルギーだけを効率よく照射できます。
2. 低温処理
   赤外線を発生しないため、常温で照射できます。
3. 接着剤不要
   真空紫外光照射により表面改質され、基板同士(ガラス/PDMS、PDMS同士）を強固に接着します。
4. 自動化設備不要
   コンパクトで、自動化へのマッチングがよい。
5. シンプルなプロセス
   真空引きや大気解放などのプロセスがありません。
6. 安価な設備

• PDMS（シリコーンゴム）／μTASチップの接着
• μTASチップの表面処理／張り合わせ／加圧 など

• PDMS、ガラス、Si基板など

独自の機構（特許出願中）により、従来別々の装置によって行なわれてきた、「洗浄・表面活性」「貼り合わせ」「加圧」の3工程を、デスクトップスタイルの小型装置1台で可能にしたため、工程ごとの専用装置が不要になり、簡便に実験が可能となります。

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• オールインワン／イージーオペレーション
  加圧装置を標準装備したオールインワン設計。基板をセット後、洗浄／改質から接合まで、基板に触れずに製作できます。
• 省スペース
  大型装置を伴わない省スペースなデスクトップタイプ。

本体寸法	813（W)×375（D)×353（H)　mm／接合ユニット55kg、ランプハウス6kg
点灯電源寸法	246（W)×250（D)×158（H)　mm／4kg
主な接着対象材料	PDMS、ガラス、Si基板など

エキシマランプからの真空紫外光を照射後にアライメントし、接着するので正確な貼り合わせが可能です。実験機から量産まで、ご要望に合わせてご提案します。

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• 高精度なアライメントステージ
  4インチウェハ対応枚葉対応です。6インチ以上のウェハ、自動搬送機構などへの対応は別途ご相談ください。
  
• セパレート型
  照射部、アライメント部に分かれており、装置設置にもフレキシビリティがあります。また、照射部のみで洗浄、表面改質などの開発・研究にも活用できます。

製品を使用しての各種テストが可能です。詳細はお問い合わせください。
※ご依頼内容によって、ご希望に添いかねる場合もございますので、予めご了承ください。

東京　TEL: 03-3242-5058 / FAX: 03-3242-2700