バイオ･MEM関連

バイオ･MEMS関連の製造装置などをご紹介します。

バイオ・MEMS

スプレーコーター従来のスピンコーターでは不可能だった、基板（3D構造）の凹凸に沿ったレジスト塗布を可能にしました。	マイクロTAS接着装置マイクロTASの基板となるガラスとPDMS(シリコンゴム）を、接着剤を使わず、真空紫外光で瞬間接着します。
MEMS用露光装置 20mm～最大φ8インチウェハに対応、最小5ミクロンL/Sのスペックを持つ、等倍投影露光光学系を搭載した露光装置です。