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ハロゲンヒータ
ハロゲンランプの赤外域の光を、効率よく取り出すために改良された製品がハロゲンヒータです。
ハロゲンヒータによる加熱は、 フレキシビリティとコントロール性に富み、高効率・クリーン・小型軽量など、 他の熱源にはない優れた特長を持っています。
さまざまな用途にあわせたバリエーションを取り揃えており、ご要望に応じた最適なタイプをご提案します。
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（PDF：4.5MB） - 機能・用途・代表的な試料 （PDF：72.1KB）
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特長
高効率なエネルギー源
投入電力の85%以上を赤外線に変換、放射する高効率な熱源です。ランプ式放射加熱なので、雰囲気に左右されず、対象物だけを効率よく加熱します。
電力密度が高く、1000℃以上の急速な昇降温が可能
発熱体は、色温度2500Kのタングステンフィラメントです。
「光」だからコントロール性が高い
レンズやミラーで、集光・散光や熱の「取り回し」が自由にでき、簡便なシステムで効率の高い加熱を実現します。
小型・クリーンな熱源
大きなエネルギー量にもかかわらず、小型・軽量で、狭い場所にも設置可能です。また、非接触加熱ができるため、対象物や照射環境を汚染する心配もなく、大気中・真空中など加熱雰囲気も問いません。
すばやい立ち上がり・立ち下がり
熱容量が小さいフィラメントが熱源なので、スイッチON/OFFとほぼ同時にエネルギーの立ち上がり、立ち下がりができ、複雑な加熱プログラムに対応する微妙な熱制御も可能です。
長寿命で一定のエネルギー放射
ハロゲンサイクルの働きで、5000時間の長寿命設計。しかも、寿命末期までほぼ一定のエネルギー放射を維持します。
電力を一定にした場合の分光分布
立ち上がり性能（左）／立ち下がり性能（右）
ウェハ温度測定結果
電力維持率
主な用途
- 半導体、FPD、太陽電池等、各種加熱工程
- 各種金属加熱
- 塗料・塗装乾燥
- 焼成・アニール
- 樹脂・PETボトル・缶成形
- 食品保温 など
お問い合わせ
東京 TEL: 03-3242-5058 / FAX: 03-3242-2700
大阪 TEL: 06-6306-5711 / FAX: 06-6306-5718
