外観検査装置

ウェハやマスクの外観検査、フレキシブルプリント基板などの回路検査、ガラス面検査を行う外観検査装置をご紹介します。

TAB・COF外観自動検査装置透過照明と反射照明を組み合わせ、従来のA.O.I.装置では難しかった高精度な検査を実現しました。	マスク/ペリクル異物検査装置露光装置用レチクルのレチクル上面および、ペリクル下面に付着した異物を短時間に検査します。
ガラス検査装置オプティカルモデュレックス規格化されたパーツユニットを、目的に応じてコンポーネントできる照射装置です。