マスク/ペリクル異物検査装置

露光装置用レチクルのレチクル上面、およびペリクル下面に付着した異物を短時間で検査します。
マスク入りマスクケースのセット後、検査結果表示までを自動的に実行します。また、バーコードによるＩＤ管理で、検査結果をログに残せます。レチクル欠陥による不良デバイスの発生を予防します。

特徴

イニシャルコストを極力抑え、ランニングコストは殆どかかりません。高スループット、省フットプリントを実現し、低いCooを実現しました。

600mm×1200mmのフットプリントを実現しました。グレーティングは2枚設置できます。

80sec/枚以下の高速検査で、生産性の向上が図れます。

複雑な操作は不要で、スイッチを押すだけで全て自動で検査を行います。

結果の分析・解析が容易にでき、オプションでオンライン対応も可能です。

東京　TEL: 03-6361-5592 / FAX: 03-6361-5599