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ランプハウス

目的に応じた光のアウトプットを可能にする多目的照射光学ユニットをご紹介します。


リソグラフィ

ソーラーシミュレータ開発などで培った光学技術を活かし、小型・高性能・低価格を実現した多目的均一照射装置です。


 

加熱

光を熱として利用するランプで、フレキシビリティとコントロール性に富み、高効率・クリーン・小型軽量など、 他の熱源にはない優れた特長を持っています。


1/1,000秒という極めて短い時間で、下層膜や基板への熱影響を与えずに、表層のみの加熱が可能です。



UV硬化

ハイパワー、コンパクト、低温処理を実現するUV硬化・乾燥装置です。目的に応じて、ランプやUV強度、照射幅などのコンポーネントが可能です。


紫外領域から赤外領域までの連続発光で、発光パルスは水銀ランプの50倍以上。高ピーク照度・低温処理・省エネなど、まさに新時代のUV装置です。


UVランプ内蔵で、使いやすいスポットUV照射装置です。ラインやワークに合わせたレンズやユニットなどのオプションも豊富です。


世界最小・最軽量、ハイパワーをLEDで実現しました。



ソーラーシミュレータ / 光化学反応 / 各種検査

規格化されたパーツユニットを、目的に応じてコンポーネントできる照射装置です。

ランプの「ブロード波長」と固体光源の「長寿命」をあわせもつ高輝度で高安定な新光源です。