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LEDモジュール
LEDのさまざまなスペクトルのなかから目的にあった波長を選択し、必要な照射強度や面積に合わせて光学設計・カスタム化した照射機としてご提供いたします。まずはご相談からでも結構です、お気軽にお問合せください。
製品ラインナップ
UV SPOT Module 365
複数のLEDをコンパクトに配列することで、1個のLED照射では困難な、広いスポットエリアを均一に照射することが可能です。
| Type 1 | Type 2 | |
|---|---|---|
| ピーク波長 | 365nm | 365nm |
| 照射面積 | Φ8mm | Φ15mm |
| UV強度 | 1,200 mW/cm2 | 720 mW/cm2 |
| 照射距離 | 15mm | 15mm |
| 外形寸法 | 37(W)×37(D)×47(H) | 60(W)×60(D)×70(H) |
UV LINE Module 365
365nmのLEDをライン状に配列しレンズでスリット状に集光することで高照度な照射が可能です。
個々のLEDを外部制御することで照度分布を任意に変えられます。
また、照射長と幅をスケールアップしたタイプも対応可能です。
| Type 1 | Type 2 | |
|---|---|---|
| 中心波長 | 365nm | 365nm |
| 照射面積 | 55×4mm | 110×4mm |
| UV強度 | 300 mW/cm2 | 300 mW/cm2 |
| 照度分布 | ±10％ | ±10％ |
| 照射距離 | 15mm | 15mm |
| 外形寸法 | 90(W)×40(D)×70(H) | 150(W)×40(D)×70(H) |
UV LINE Module 405
405nmのLEDをライン状に配列しレンズで集光させることで高照度かつ平行光の照射が可能です。
照射長と幅をスケールアップしたタイプも対応可能です。
| 中心波長 | 405nm |
|---|---|
| 照射面積 | 300×25mm |
| UV強度 | 150 mW/cm2 |
| 照度分布 | ±5％ |
| 照射距離 | 15mm |
| 外形寸法 | 450(W)×90(D)×65(H) |
UV LED FLAT Module (365nm)
4inchウエハを高照度で均一にUV照射します。各種装置へビルトインがしやすいように冷却を水冷式にすることで照射機の薄型化を実現しました。
| 照射面積 | 4inch(φ110mm) |
|---|---|
| 照射強度 | 100mW/cm2(距離15mm) |
| 均一度 | ±10％ |
| ゾーン制御 | 4分割個別制御 |
| 冷却方法 | 水冷 |
お問い合わせ
東京 TEL: 03-6328-3447 / FAX: 03-3242-2700
