紫外線ホトレジスト硬化･チャージイレース装置 「ユニハード」

初期照度は650mw/cm2以上（220～320nm）を、照度均一度は±10%を保証しています。

φ12インチ用装置は、ロードポート（SEMI準拠）を採用したEFEMを、搬送系はクリーンでスピーディーな2フィンガー搬送ロボットを採用し、高いスループットを実現しました。

φ12インチ用装置はWindows NT PCを採用し、高い操作性を実現しました。GEM300にも準拠しています。

ランプユニットは、交換時の調整が不要で、装置のダウンタイムを低減します。

照度一定モード、積算露光モードを使用することで、プロセスの安定化、均一化を実現します。

φ6インチ用装置（ Φ5インチ以下の兼用も可能）、φ8インチ用装置（ Φ6インチ以下の兼用も可能）、φ12インチ専用装置など、あらゆるワーク・カセットに対応します。また、エキシマランプを搭載した～φ8インチ用装置もあります。

• ドライエッチング時の耐プラズマ性の向上
• イオン注入時のレジスト脱ガス及び焼きしめ
• 電荷の消去、ストレスイレース
• Low-kキュア
• 薄膜磁気ヘッドの層間絶縁膜形成
• 化合物半導体のリフトオフ工程
• 表面改質
• CCD、CMOSイメージャのブリーチング　　など

製品を使用しての各種テストが可能です。詳細はお問い合わせください。
※ご依頼内容によって、ご希望に添いかねる場合もございますので、予めご了承ください。

東京　TEL:　03-6361-5591 / FAX: 03-6361-5599