

ハロゲンランプヒータによる「非接触且つ高速昇降温」は、焼成炉、CVDなどの熱処理装置において標準熱源として搭載されています。

単結晶シリコン、多結晶シリコン、アモルファスシリコン、ガラス、フィルム

100℃の低温域から1200℃の高温域まで幅広い温度域に対応できます。各熱処理プロセスの標準熱源として幅広く採用されています。

シリコン、SiC、SOI、化合物、水、薬液

「高速昇降温と非接触加熱」が可能で、さらに基板大型化に対応するため、最長2.5Mまで、長尺化を可能にしました。

ガラス、カラーフィルター

金属材の圧延、水・溶剤乾燥工程等の熱処理において、従来のホットエア、高周波加熱、ガス炉等に替わるクリーンな加熱源として使用できます。

SUS、アルミニウム、鉄、銅、マグネシウム

プリフォームのような透過性のある材料を加熱する場合は、ハロゲンランプヒータによる表裏均一な光加熱が有効です。

ペットボトル(PET)、プリフォーム、PC、エポキシ、PPT

ウシオは、光の「熱源」としての可能性に早くから取り組み、新素材・宇宙開発といった最先端の科学分野にも幅広く「光加熱」を提案しています。
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