![ウシオのハロゲンヒータ製品例 カタログダウンロード[PDF]](image/index_03_31.gif){kind=small}
ハロゲンランプヒータによる「非接触且つ高速昇降温」は、焼成炉、CVDなどの熱処理装置において標準熱源として搭載されています。
単結晶シリコン、多結晶シリコン、アモルファスシリコン、ガラス、フィルム
100℃の低温域から1200℃の高温域まで幅広い温度域に対応できます。各熱処理プロセスの標準熱源として幅広く採用されています。
シリコン、SiC、SOI、化合物、水、薬液
「高速昇降温と非接触加熱」が可能で、さらに基板大型化に対応するため、最長2.5Mまで、長尺化を可能にしました。
ガラス、カラーフィルター
金属材の圧延、水・溶剤乾燥工程等の熱処理において、従来のホットエア、高周波加熱、ガス炉等に替わるクリーンな加熱源として使用できます。
SUS、アルミニウム、鉄、銅、マグネシウム
プリフォームのような透過性のある材料を加熱する場合は、ハロゲンランプヒータによる表裏均一な光加熱が有効です。
ペットボトル(PET)、プリフォーム、PC、エポキシ、PPT
ウシオは、光の「熱源」としての可能性に早くから取り組み、新素材・宇宙開発といった最先端の科学分野にも幅広く「光加熱」を提案しています。
東京 TEL: 03-3242-5058 / FAX: 03-3242-2700
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