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ウシオの光加熱 ~ハロゲンランプヒータ~ Special contents - Halogen Lamp heater

太陽電池:Solar Cell

半導体、FPDに次ぐ第三の事業として太陽電池は、次世代エネルギー源として結晶系Si太陽電池、薄膜系Si太陽電池、CIS系太陽電池とも急成長しています。
他の熱源では実現することができないハロゲンランプヒータによる「非接触による高速昇降温」は、焼成炉、CVD、ラミネータなどの熱処理装置において標準熱源として採用されています。
半導体市場において培った高精度な熱処理性能そして、FPD市場において長年実績を積んだ長尺ヒータは、各種太陽電池市場で、即戦力として使用されています。

用途:Usage

PECVD

  • アモルファスシリコン膜、反射防止等PECVDの加熱工程において、ハロゲンランプヒータの持つ優れた高速昇温性は、成膜時のタクトタイム短縮を可能とし、優れた温度均一性は、高品質なCVD膜を形成をします。

焼成

  • 細線化が必要な電極形成(ファイヤースルー)において、加熱工程は重要な役割を担っています。
  • ハロゲンランプヒータは、高速昇降温・配熱分布、色温度などの熱処理条件を最適化します。

ラミネータ

  • ハロゲンランプヒータは、太陽電池モジュールを真空中で封止するラミネータ工程においても適しています。

主な試料

単結晶シリコン、多結晶シリコン、アモルファスシリコン、ガラス、フィルム、化合物、Agペースト

特長:Features

高効率なエネルギー源

イメージ:高効率なエネルギー源

投入電力の85%以上を赤外線に変換、放射する高効率なランプ式放射加熱源です。
消費電力の抑制は、ランニングコストの低減を実現します。


優れた昇降温性能

イメージ:昇降温性能

熱容量の小さなタングステンフィラメントを発熱体とし、非接触?高速昇降温が可能です。
優れた高速昇降温性能は、焼成工程において最適な温度プロファイルを実現します。また、常時電力を消費する抵抗加熱と異なり、すばやい立ち上がり性能は、加熱時間の短縮によるタクトアップ、更には必要時のみONするので、ランニングコスト削減に大きく貢献します。


太陽電池基板の吸収特性とハロゲンランプヒータ波長特性

イメージ:太陽電池基板(SiN on Si)とハロゲンランプヒータの分光分布特性

太陽電池基板であるシリコンや各種CVD膜の吸収波長とランプ出力波長(色温度)をマッチングさせる事で、最適なヒータを提供します。


高いコントロール性能

光学設計されたヒータユニットと専用PID制御システムにより、他の熱源では達成できない、優れた熱制御を実現します。

長尺・クリーンな熱源

ハロゲンランプヒータは、大型ガラス基板に対応したヒータ製作が可能です。また、独自のランプ形状を用いる事で、更に長い距離にも対応する事ができます。非接触加熱のため、クリーンな雰囲気を保ち、大気中・真空中など加熱雰囲気も問いません。「光」だからガスを放出することもなく、CO2放出削減にも効果があります。

長寿命で一定のエネルギー放射

イメージ:電力維持率データ

ハロゲンサイクルの働きで、他のハロゲンランプヒータにはない長寿命設計が可能です。更に、他熱源のような経時変化がないため、寿命末期までほぼ一定のエネルギー放射を維持します。


お問い合わせ

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