

半導体、FPDに次ぐ第三の事業として太陽電池は、次世代エネルギー源として結晶系Si太陽電池、薄膜系Si太陽電池、CIS系太陽電池とも急成長しています。
他の熱源では実現することができないハロゲンランプヒータによる「非接触による高速昇降温」は、焼成炉、CVD、ラミネータなどの熱処理装置において標準熱源として採用されています。
半導体市場において培った高精度な熱処理性能そして、FPD市場において長年実績を積んだ長尺ヒータは、各種太陽電池市場で、即戦力として使用されています。
単結晶シリコン、多結晶シリコン、アモルファスシリコン、ガラス、フィルム、化合物、Agペースト
熱容量の小さなタングステンフィラメントを発熱体とし、非接触?高速昇降温が可能です。
優れた高速昇降温性能は、焼成工程において最適な温度プロファイルを実現します。また、常時電力を消費する抵抗加熱と異なり、すばやい立ち上がり性能は、加熱時間の短縮によるタクトアップ、更には必要時のみONするので、ランニングコスト削減に大きく貢献します。
光学設計されたヒータユニットと専用PID制御システムにより、他の熱源では達成できない、優れた熱制御を実現します。
ハロゲンランプヒータは、大型ガラス基板に対応したヒータ製作が可能です。また、独自のランプ形状を用いる事で、更に長い距離にも対応する事ができます。非接触加熱のため、クリーンな雰囲気を保ち、大気中・真空中など加熱雰囲気も問いません。「光」だからガスを放出することもなく、CO2放出削減にも効果があります。