検査用光源装置

肉眼では分かり難い欠陥を、容易に検査できる装置をご提供します。
検査対象物にあわせ、拡大投影、反射、透過、直視など、最適な光のラインナップをご提供します。

反射による検査（ウエハーキズ等）

金属や硝子のミラー、ウエハーなどの鏡面体などの磨きムラの表面検査にも適しています。
ワークによっては反射の角度を変えながら行なっており、角度を浅くすると表面の微細な磨きムラが投影されることもあります。

ガラス表面の薄い擦り傷の場合　反射で見ます。
これは表面の欠陥が正反射せずに乱反射する現象を利用しています。
ただし内部の欠陥は見えません。

東京TEL.03-3242-5614 / FAX.03-3242-2700
大阪TEL.06-6306-5711 / FAX.06-6306-5718