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ウシオのランプハウス

光源別ラインナップ

Deep UVランプ光源装置

キセノンランプをベースに水銀などの金属蒸気を封入した、高輝度・点光源のDeep UVランプはより微細な半導体回線パターンの露光用として開発され、遠赤外線に強いスペクトルランプを持っています。

特長

自社開発の500WDeep UVランプを搭載
照射距離（レンズ端より）100mmにて有効照射径　φ50mm
照射距離（レンズ端より）100mmにて照度600,000lx

仕様

ランプ	500W Deep UVランプ
ランプ寿命	800時間
セット内容	ランプハウス（165×245×262） Deep UVランプ電源（222×209×230）レンズ（172mm　φ76.1）

波長スペクトル

アプリケーション例

半導体露光実験用途

卓上や実験室で半導体回線パターンの露光が簡単に可能です。

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東京TEL.03-3242-5614 / FAX.03-3242-2700
大阪TEL.06-6306-5711 / FAX.06-6306-5718

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