耐熱性向上例

  • 洗浄
  • 硬化・接着
  • 改質
  • 半導体
UVハードニング処理を行うことにより、250℃ 5minでもレジストが溶解しない。 UVハードニング処理を行っていない場合は、150℃ 5minでレジストが溶解してしまう。