ミリ秒加熱をあなたの実験室にも。表層加熱の最適プロセスが見つかります。
共同実験・テスト機のご案内
共同実験・開発または、ご購入を検討されているお客さま向けに、共同実験装置・スペースおよびテスト機をご用意しています。
UVランプ、フラッシュランプ、VUV光源（エキシマ）、ハロゲンヒータなどの多様な光源を使用し、共同研究・実験や、サンプルをお預かりしての実験、テスト機の貸し出しが可能です。
※詳細については、お申し込みフォームまたはお電話にてお問い合わせください。
※実験内容やテスト機使用の目的・用途などによって、ご希望に添いかねる場合もございますので、予めご了承ください。
共同実験
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真空紫外線から赤外線まで全ての波長を照射可能な光照射実験設備です。 |
テスト機
規格化されたパーツユニットを、目的に応じてコンポーネントできる照射装置です。 |
波長180nm以下の真空紫外光(VUV)を効率よく放射します。 |
ソーラーシミュレータ開発などで培った光学技術を活かし、小型・高性能・低価格を実現した多目的均一照射装置です。 |
UVランプ内蔵で、使いやすいスポットUV照射装置です。ラインやワークの合わせたレンズやユニットなどのオプションも豊富です。 |
スーパーコネクト領域のデザインルール（10μｍＬ/S前後）に最適化されたラフ・ステッパーです。 |
解像力3umL/S～20umL/S、露光エリアφ100～300mmに対応したさまざまなタイプ（片面/両面、一括/分割など）を取り揃えています。 |
ドライエッチング時の耐プラズマ性の向上、イオン注入時のレジスト脱ガスおよび焼きしめ、電荷の消去、ストレスイレース、Low－kキュア等さまざまな用途で活用されます。 |
分光エネルギーの絶対値測定をはじめ、簡単な操作で多彩な測定ができるコンパクトな分光照度計です。 |
平面はもちろん、±R50mmまでの曲面も、瞬時に測定できる分光反射率計です。 |
照光装置、UVキュアリング、洗浄･殺菌装置など、さまざまな照度管理に対応するコンパクトな光測定器です。 |
従来のスピンコーターでは不可能だった、基板（3D構造）の凹凸に沿ったレジスト塗布を可能にしました。 |
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マイクロTASの基板となるガラスとPDMS(シリコンゴム）を、接着剤を使わず、真空紫外光で瞬間接着します。 |
高圧･低圧UVランプと組合わせて使用できる実験装置です。 |
