エキシマランプ/エキシマ光照射ユニット

単一波長のため化学反応を引き起こす紫外線を選択でき、対象物に不要な反応や熱を与えず低温処理ができます。

電力から光へのエネルギー変換効率が高く（172nmタイプの変換率10%）、低電力でも大きなエネルギーが発生します。

必要なときだけ必要な量のエネルギーを照射できるため、「シャッタが不要」「実質的な長寿命化」など、さまざまなメリットがあります。

ランプの点灯方向に制限がなく、ラインにあわせて立面照射も可能です。

• 帯電除去
• HDDディスク洗浄
• レジストアッシング
• レジスト残渣のアッシング
• プラスチック基板の洗浄
• 金属表面の洗浄、改質
• Low-kキュア
• PDP蛍光体評価
• 分析評価前の洗浄
• ガスの分解
• 酸化膜の生成
• 乾燥
• ガラス・フィルムの張り合わせ
• 繊維の改質
• 有機EL封止管の接着性向上
• 有機ELの仕事関数アップ

製品を使用しての実験やテスト機のご利用が可能です。なお、テスト後には、そのままご購入いただくこともできます。
※ご利用の目的・用途などによって、ご希望に添いかねる場合もございます。予めご了承ください。

東京　TEL: 03-3242-5058 / FAX: 03-3242-2700
大阪　TEL: 06-6306-5711 / FAX: 06-6306-5718