多目的均一照射ユニット/ランプハウス 「マルチライト」

紫外線波長領域のなかでも、特に3線(365nm、405nm、436nm)を有効に活用でき、長寿命で安定した照射強度をもつ高輝度点光源、ウシオの超高圧UVランプを搭載しています。

長波長の光を透過し、必要な紫外線だけを反射するコールドミラーを2枚使用しているため、被照射物の温度上昇をおさえます。

高性能フライアイレンズを搭載し、光の利用効率を下げずに、照射面を均一に照射します。

「基本構成ユニット＋付属光学ユニット＋シャッタコントローラユニット」の基本パターンに加え、照射強度、波長、照射径など、求められる光の条件をすべて実現する、豊富なバリエーションをご用意しています。組み合わせは無限大です。

IIタイプ(365nm)、IGタイプ(365・405・436nmの3線)の2種類の光学系から、必要に応じて選択することができます。

「250～25kWランプハウス」「高照度化、高平行度化、波長選択などによる光学性能アップ」「省スペース化など、レイアウトに対応した光学系」「DeeP UVランプなど、超高圧UVランプ以外を光源としたランプハウス」など、お客さまのご要望にお応えします。

レンズを使用した均一照射光源として、また光ファイバを使用したスポット光源として、回路パターン焼付け、ウェハ全面露光、UV接着硬化など、さまざまな用途に活用できます。

• 半導体/半導体焼付、半導体マスク検査、ウェハ周辺露光、ウェハ全面露光、ウェハキズ検査、液晶TFT/CF焼付など
• 精密機器/CD光ピックアップ用レンズ接着、磁気ヘッド接着、ファイバーコーティング、電子部品接着、水晶発振子露光、TAB露光、FPC露光、大面積投影露光装置など
• その他/液晶アライナー、MEMS露光、各種光学実験など

製品を使用しての実験やテスト機がご利用できます。なお、テスト後には、そのままご購入いただくこともできます。
※ご利用の目的・用途などによって、ご希望に添いかねる場合もございますので、予めご了承ください。

東京　TEL: 03-6361-5593/ FAX: 03-6361-5599