アライナ

【英語名】 aligner

【読み方】あらいな

解説

(マスク)アライナとは、水銀ランプやエキシマレーザなどから放射される紫外線等を用いてマスク（レチクル）の微細なパターンをワーク（試料）に転写・焼付する露光装置のこと。
露光方式には、接触露光のコンタクト露光（ハードコンタクト、ソフトコンタクト）、非接触露光のプロキシミティ露光^１）やプロジェクション露光（レンズプロジェクション露光、ミラープロジェクション露光）などがある。
→露光装置を参照。

１）プロキシミティ露光は、マスク（レチクル）とワーク（試料）の間隔が数μm～数十μm程度と非常に狭いことから、接触露光のコンタクト露光に含めて分類することもある。

露光方式

露光方式の特徴