エキシマレーザ（エキシマレーザー）

エキシマレーザ(エキシマレーザー)とは、媒質として希ガスやハロゲンなどの混合ガスを用い、パルス放電によって励起された希ガス原子とハロゲン原子によって形成されるエキシマからの放射光により、パルス発振するガスレーザのこと。
エキシマレーザの代表的な発振波長には、193nm(ArF)、248nm(KrF)、308nm(XeCl)、353nm(XeF)がある。

＜代表的用途例＞
・半導体用フォトリソグラフィ
・視力矯正手術用レーザメス（角膜の一部分を薄く除去して厚さを変える）