遠紫外放射

【英語名】 far ultraviolet radiation, vacuum ultraviolet radiation, extreme ultra-violet radiation, deep ultraviolet radiation

【読み方】えんしがいほうしゃ

解説

遠紫外放射とは、空気による吸収が始まる波長域から軟Ｘ線波長域までの紫外放射のこと。
波長範囲についてはさまざまな用例があるが、1nmから200～220nmの間までの波長域とすることが多い。遠紫外領域を、真空紫外領域よりも長波長域まで含め、250nmくらいまでとすることもある。

→紫外放射を参照。

※波長250、300、350nm以下の紫外放射を深紫外放射またはディープユーブィ（Deep-UV、DUV）と呼ぶこともある。この言葉は、もともとIBMのDr.Linが使った言葉で、彼の概念では200～300nmの波長域であった。