インテグレータ光学系

【英語名】 optical integrator

【読み方】 いんてぐれーたこうがくけい

インテグレーター光学系は、照射面への照度の均一性を高めるために使われる。
通常の集光鏡やレンズを用いた照明系では、照射面の照度は、中心は明るく周辺が暗くなったりして、中心と周辺の照度比が例えば30%程度になったりする。これに対してインテグレータを採用すると、90%以上にも改善され、均一な照度を得ることができる。

※フライアイレンズ（fly eye lens）方式とロットレンズ（lod lens）方式がある。
フライアイレンズ（蝿の目）方式は、平方形や6角形のレンズを多数敷き詰めた構造のレンズ群を使い、光源像を多数発生させ、少しずつ位置をずらした照明系を重ね合わせた効果で、照射面の照度均一度を改善する。
ロットレンズ方式は、光源から発した光が、円柱形のガラスロット内で全反射を繰り返すことで、実質的にフライアイレンズと同じ作用をする。

＜主な用途＞

• 半導体・TAB・液晶露光装置
• ソーラーシミュレータ
• 液晶・DMDプロジェクタ
• ショートアーク放電ランプやレーザなど光源応用機器

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