プロジェクション露光
【英語名】 projection exposure method
【読み方】 ぷろじぇくしょんろこう
解説
プロジェクション露光とは、マスク（レチクル）の像をレンズなどの光学系を用いてワーク（試料）に投影させ、露光する非接触の露光方式のこと。投影露光とも言う。
プロジェクション露光には、投影光学系の違いにより、レンズプロジェクション露光とミラープロジェクション露光の2種類がある。これらはマスクとワークが非接触なため、両者のダメージが非常に少ない、縮小光学系（例えば、マスクの原画のサイズが５に対し、ワークの像のサイズが1、これを5：1縮小系と言う。投影倍率5：1とも言う）を用いることで、マスクの像の精密転写が可能など、大きな特長を備える。
→レンズプロジェクション露光とミラープロジェクション露光を参照。
関連用語
