プロキシミティ露光

【英語名】 proximity exposure method

【読み方】 ぷろきしみてぃろこう

プロキシミティ露光とは、マスク（レチクル）とワーク（試料）の隙間を数μmから数十μm程度に設定して露光する非接触の露光方式のこと。この隙間をプロキシミティギャップと呼ぶ。
非接触の露光方式には、プロキシミティ露光とプロジェクション露光（投影露光）の2種類があり、これらはマスクとワークが接触しないため、両者のダメージが非常に少ないと言う特長を備える。これに対して、マスクとワークを接触させて露光する方式をコンタクト露光（接触露光）と言う。
→プロジェクション露光、コンタクト露光を参照。

※プロキシミティ露光は、マスクとワークの間隔が非常に小さいことから、コンタクト露光（接触露光）に含めて分類することもある。

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