コリメータレンズ(コリメーターレンズ)

collimator lens こりめーたれんず(こりめーたーれんず)

解説

コリメータレンズ(コリメーターレンズ)とは、平行光を得られるように収差補正されたレンズのこと。
光線が正しく一点に集まらずに不完全な像ができること(収差)を防ぐはたらきをする。

各種の露光装置光配向装置、レーザ走査光学系の光源ユニットなどに用いられる。
インテグレータレンズ(インテグレーターレンズ)を参照。

▲インテグレータレンズが使われている投影露光装置の光学系図