マイクロマシン

【英語名】 micro machine、micromachine

【読み方】 まいくろましん

マイクロマシンとは、mmからμmオーダーの微小機械や機械構造、センサなどの総称のこと。
動くものや、動かない物（流路など）も含まれ、MEMS(メムス、Micro Electro Mechanical System）とも言う。マイクロマシンの製作技術（micro machining）には、半導体などに使われるリソグラフィ技術やナノインプリント技術、レーザ精密微細加工、機械加工の延長などがある。

※DLPチップ¹⁾やジャイロセンサ、加速度センサ、Siマイクなどがマイクロマシンであり、プロジェクタやゲーム機、携帯電話機、デジタルカメラなどに使われている。さらに工業や医療などの幅広い分野でその応用が期待されている。

１）DLPチップ：Digital Light Processing Chipの略。
1987年、米国Texas Instruments社で開発された映像デバイスで、CMOS半導体上に独立して動く微小な鏡を、碁盤の目のように48万～200万個並べている。このDLPチップに、ランプなどからの光を照射し、微小な鏡で反射した光を、レンズを通して投影すると、映像が得られる。DLPはTexas Instruments社の商標。

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