マイクロマシン
micro machine、micromachine
まいくろましん
解説
マイクロマシンとは、mmからμmオーダーの微小機械や機械構造、センサなどの総称のこと。
動くものや、動かないもの（流路など）があり、MEMS(Micro Electro Mechanical System）とも言う。
マイクロマシンの製作技術（マイクロマシニング）には、半導体などに使われるリソグラフィ技術やナノインプリント技術、レーザ精密微細加工、機械加工の延長などがある。
※DLPチップ1)やジャイロセンサ、加速度センサ、Siマイクなどがマイクロマシンであり、プロジェクタやゲーム機、携帯電話機、デジタルカメラなどに使われている。さらに工業や医療などの幅広い分野でその応用が期待されている。
１）DLPチップ：Digital Light Processing Chipの略。→DLP、DMDを参照。