マイクロマシニング

マイクロマシニングとは、マイクロマシンやMEMS¹⁾の製作技術のこと。
半導体などに使われるリソグラフィ技術やナノインプリント技術、レーザ精密微細加工、機械加工の延長などがある。
→マイクロマシンを参照。

1) マイクロマシンやMEMSとは、mmからμmオーダーの微小機械や機械構造、センサなどの総称。動くものや、動かないもの（流路など）がある。