マイクロマシニング

【英語名】 micro machining

【読み方】まいくろましにんぐ

解説

マイクロマシニングとは、マイクロマシン（micro machine）やMEMS（Micro Electro Mechanical System）の製作技術のこと。
半導体などに使われるリソグラフィ技術やナノインプリント技術、レーザ精密微細加工、機械加工の延長、などがある。
→マイクロマシンを参照。

※マイクロマシンやMEMSは、mmからμmオーダーの微小機械や機械構造、センサなどの総称で、動くものや、動かない物（流路など）も含まれる。