ミラープロジェクション露光

【英語名】 mirror projection exposure method

【読み方】みらーぷろじぇくしょんろこう

解説

ミラープロジェクション露光方式とは、ミラー光学系を用いて、マスク（レチクル）の像をワーク（試料）に投影（プロジェクション）する露光方式のこと。
アライナの露光方式の一種で、非接触露光のプロジェクション露光（投影露光）の一種である。