露光装置
exposure equipment, aligner, lithography equipment
ろこうそうち
解説
露光装置とは、露光させる装置のこと。
写真を撮影する（露光する）装置は写真機（カメラ）と呼び、印画紙などに写真を焼き付ける（露光する）ものを引き伸ばし機などと呼ぶ。
また、半導体や液晶などの微細な回路パターンなどを、紫外線や電子ビーム、Ｘ線などの放射で「露光」する装置を、半導体露光装置、液晶露光装置と呼ぶ。
その工程を、リソグラフィ(lithography)と言い、特に光放射を用いるものをフォトリソグラフィ(photo lithography)と言う。
→フォトリソグラフィ（フォトリソグラフィー）を参照。
