レーザ

【英語名】 laser

【読み方】 れーざ

レーザとは、誘導放出によって、コヒーレントな光放射をする光源や装置、またはその光のこと。

※レーザ装置は、光共振器と、その中に配置される媒質、媒質をポンピング(電子をより高いエネルギー準位に励起)するための回路を含む装置から構成される。

※多くの種類が実用化され、X線、紫外線、可視光領域、赤外線のような各種波長のものがある。
媒体による分類としては、固体レーザ、液体レーザ、ガスレーザ、半導体レーザ、自由電子レーザなどがある。
一例を挙げれば、ガスレーザのエキシマレーザは、媒体として希ガスやハロゲンなどの混合ガスを用いてレーザ光を発生させる。パルス放電によって励起された希ガス原子とハロゲン原子によって形成されるエキシマからの放射光により、パルス発振する。エキシマレーザの代表的なエキシマの発振波長は、ArF(193nm)、KrF(248nm)、XeCl(308nm)、XeF(353nm)である。

※エキシマレーザの代表的用途を挙げれば、工業用としては、最先端の半導体製造におけるフォトリソグラフィがあり、医療用としては、角膜の一部分を薄く除去して角膜の厚さを変え、視力矯正をはかる手術で使われる。

• 光源
• 光
• 励起
• 波長
• エキシマレーザ
• フォトリソグラフィ

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