g 線

g-line じーせん

解説

g 線とは、波長436nmの水銀のスペクトル線のこと。
水銀は多くのスペクトル線を持つが、紫外域・可視域・近赤外域における強いスペクトル線として、253.652nm、296.728nm、312.566nm、365.015nm、404.656nm、407.781nm、434.750nm、435.835nm、546.074nm、576.959nm、579.065nm、690.716nm、1013.98nmがある。このうち、可視域の波長435.835nm≒436nmのスペクトル線をg 線と言う。
スペクトル線を参照。

※この波長を利用したステップアンドリピート(step and repeat)方式の露光装置をg 線ステッパなどと言う。