ショートアークランプ

【英語名】 short arc lamp

【読み方】 しょーとあーくらんぷ

ショートアークランプとは、電極間距離が 1～10mm程度と短く、アーク放電により発光する、ランプのこと。
キセノンランプ（クセノンランプ、ゼノンランプ）、超高圧水銀ランプ（超高圧UVランプ）、メタルハライドランプ、ディープUVランプなどのショートアークタイプがこれにあたる。
発光領域が小さく、高輝度の点光源であることから、光学機器、シネマ用映写機、データプロジェクタ、半導体や液晶製造プロセスにおけるリソグラフィ（露光）、内視鏡などの医療機器用光源、サーチライトなど、用途が多い。

※発光管には主に石英ガラスを用い、管中に一対の電極を設け、希ガスや水銀、金属のハロゲン化合物などを封入する。所望の発光波長を得るため、ランプの種類により、封入物とその量・割合が選定、調整される。

• アーク放電
• ランプ
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• クセノンランプ
• ゼノンランプ
• 超高圧水銀ランプ（超高圧UVランプ）
• メタルハライドランプ
• リソグラフィ
• 露光
• 発光管
• 石英ガラス
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