【英語名】 sigma
【読み方】 しぐま
σとは、照明系の開口数（NA）と結像レンズの開口数（NA）の比であり、下式で表わされる。σ＝照明系開口数（NA）／結像レンズ物体（マスク）側開口数（NA）σを小さくすることで、実用解像領域でのコントラスト（MTF）を向上でき、一般的に解像力がアップするメリットがある。反面、照度や照度均一度が低下するデメリットもある。
