ステッパ

【英語名】 stepper

【読み方】すてっぱ

解説

ステッパとは、ステップアンドリピート（step and repeat）方式^１）で露光を行う半導体や液晶などのプロジェクション露光装置（投影露光装置）のこと。
→プロジェクション露光装置を参照。

１）ステップアンドリピート（step and repeat）方式：半導体ウェハや液晶基板などの露光エリアをいくつかの小区画に分割し、分割した一つの小区画の露光が終わると次の小区画に移動（step）し露光を行う。この動作を繰り返し（repeat）ながら、エリア全面を露光する方式。