真空コンタクト露光

真空コンタクト露光とは、コンタクト露光の一種で、マスク（レチクル）とワーク（試料）との接触を強固にするために、マスクとワークの隙間の空気を排除し、大気圧により圧着（真空圧着と言うこともある）する露光方式のこと。ハードコンタクト露光とも言う。
→コンタクト露光、ハードコンタクト露光を参照。