投影露光

【英語名】 projection exposure method

【読み方】とうえいろこう

解説

投影露光とは、マスク（レチクル）の像をレンズなどの光学系を用いてワーク（試料）に投影させ、露光する非接触の露光方式のこと。プロジェクション露光とも言う。
→プロジェクション露光を参照。