TAB露光装置

【英語名】 TAB exposure system

【読み方】たぶろこうそうち

解説

TAB露光装置とは、TABテープに特化したロールtoロール投影露光装置のこと。
TABはTABテープを使ったICパッケージの１種である。使われるTABテープはテープキャリア、フイルムキャリアとも呼ばれ、幅35mm～105mm程度のポリイミドなどの薄いフィルム上に銅箔で回路を形成した、ポリイミドを基材とするテープ状配線基板のことで、屈曲性を持ち、一般にロール状に巻かれ供給される。このTABテープの配線パターンを形成する露光工程で、高スループット化・高密度化・低ダメージ化が可能な投影方式の露光機能を備え、これに完全自動化・省力化を図るためにロールtoロール搬送系を備えたものがTAB露光装置である。
→TAB、TABテープ、ロールtoロール投影露光装置を参照。

※最近（2003年以降）では生産性が重視され、幅156mm～160mmの幅広テープを用い、35mm×4条、48mm×3条、或いは70mm×2条　を生産する方法が主流になっている。

※TABテープの露光には初期は密着露光方式が使われたが、トラブルが多く、更にはファインピッチ化の進行もあり、現在では投影露光方式になった。ちなみにファインピッチ化はLCDドライバが先導している。

※TABテープは、ファインピッチ、軽量薄型、屈曲性、回路設計の自由度の高さなどの特長を備え、LCDドライバ、時計、電卓、サーマルヘッドなどで使われる。

TAB露光装置

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