TAB露光装置

TAB露光装置とは、TABテープに特化したロールtoロール投影露光装置のこと。
TABテープの配線パターンを形成する露光工程で、高スループット化・高密度化・低ダメージ化が可能な投影方式の露光機能を備え、これに完全自動化・省力化を図るためのロールtoロール搬送系を備えている。
→TAB、TABテープ、ロールtoロール投影露光装置を参照。

※TABテープの露光には、初期は密着露光方式が使われたが、トラブルが多く、更にはファインピッチ化の進行もあり、現在では投影露光方式になった。ちなみにファインピッチ化はLCDドライバが先導している。
※TABテープは、ファインピッチ、軽量薄型、屈曲性、回路設計の自由度の高さなどの特長を備え、LCDドライバ、時計、電卓、サーマルヘッドなどで使われている。