歪曲

歪曲とは、光軸に対して垂直な平面の物体が、光軸に対して垂直な面上で正しく相似に結像されないこと。
露光用レンズでは、多層パターンの重ね合せ精度や配線層のピッチ精度を決定する要素の一つとなる。

※歪曲はザイデルの５収差の一つであり、歪曲には糸巻形歪曲、たる形歪曲などがある。
→収差、ザイデルの５収差を参照。