ライトエッジ No.33

ライトエッジ No.33

FPCの微細化・高生産性を達成する露光装置をはじめ、CSPの高密度化に対応した有機フリップチップパッケージ向け露光装置、精密ドライ洗浄分野で高シェアを占めるエキシマランプ、医療分野で注目を集める免疫分析装置、長年にわたり定評のある太陽電池特性評価用ソーラーシミュレータなど、2009年夏から2010年春にかけて発表した論文10を掲載しています。

また、シリーズ「大学研究室を訪ねて」では、マイクロ・ナノ加工、バイオ・流体デバイスの研究開発に精力的に取り組む、香川大学准教授の鈴木孝明先生の研究室をご紹介しています。

(2010年08月)

電気学会技術報告(新しい光源とモデリング・計測調査専門委員会)

誘電体バリア放電を用いた
エキシマランプ

Semiconductor FPD World(プレスジャーナル)

エキシマ光を用いた
精密ドライ洗浄技術

2010太陽光発電技術大全(電子ジャーナル)

太陽電池特性評価用
ソーラーシミュレータ

東京大学CORAL事業 教科書

VUV~UV光の発生方法と
その応用

Electronic Journal 第229回 Technical Symposium(電子ジャーナル)

ロール toロール型FPC露光装置の
最新動向