ライトエッジ No.1

ウシオが世界で初めて製品化に成功した「誘電体バリア放電エキシマランプ」の特性をはじめ、その用途として表面改質や洗浄、親水性などをご紹介しています。

（1995年2月 発行）

1993年（平成5年）秋季 学会研究会資料「無電極放電ランプの現状とその動向」
誘電体バリア放電を利用したエキシマランプの特性 PDF（243KB）

1993年（平成5年）秋季 第54回応用物理学会学術講演会　講演予稿集　No.1 27a-HE-1
誘電体バリア放電を利用したXe₂*エキシマランプの開発PDF（27KB）

1993年（平成5年）秋季 第54回応用物理学会学術講演会　講演予稿集　No.１　27a-HE-2
誘電体バリア放電を利用したXe₂*エキシマランプによるPETフィルムの表面改質 PDF（29KB）

1993年（平成5年）秋季 第54回応用物理学会学術講演会　講演予稿集　No.１　27a-HE-3
172nm誘電体バリア放電ランプによるポリエチレンフィルムの染着性処理 PDF（28KB）

1993年（平成5年）秋季 第54回応用物理学会学術講演会　講演予稿集　No.１　27a-HE-4
172nm誘電体バリア放電ランプによるポリイミドの表面改質 PDF（24KB）

1993年（平成5年）秋季 第54回応用物理学会学術講演会　講演予稿集　No.１　27a-HE-5
172nm誘電体バリア放電ランプによるポリアセタールの表面改質 PDF（23KB）

1993年（平成5年）秋季 第54回応用物理学会学術講演会　講演予稿集　No.１　27a-HE-6
172nm誘電体バリア放電ランプによるテフロンの親水性処理 PDF（25KB）

1994年（平成5年）11月 電気関係学会関西支部連合大会講演論文集
誘電体バリア放電を利用したエキシマランプの特性 PDF（37KB）

1994年（平成6年）春季 第41回応用物理学関係連合講演会　講演予稿集 30p-ZE-2
誘電体バリア放電を利用したXe₂*エキシマランプによる石英ガラスのUV/O₃洗浄 PDF（37KB）

1994年（平成6年）春季 第41回応用物理学関係連合講演会　講演予稿集 30p-ZE-3
誘電体バリア放電を利用したAr₂*エキシマランプの開発 PDF（30KB）

1994年（平成6年） 照明学会全国大会　講演論文集 26
誘電体バリア放電を利用したXe₂*エキシマランプの光出力特性 PDF（57KB）

1994年（平成6年） 照明学会全国大会　講演論文集 27
誘電体バリア放電を利用したヘッドオン型Xe₂*エキシマランプの特性 PDF（57KB）

1994年（平成6年） 照明学会全国大会　講演論文集 28
誘電体バリア放電を利用したXeCl*エキシマランプ PDF（62KB）

1994年（平成6年） 照明学会全国大会　講演論文集 29
エキシマ光照射装置 PDF（62KB）

1994年（平成6年）秋季　第55回応用物理学会学術講演会　講演予稿集　Ｎｏ.1 20a-ZV-10
誘電体バリア放電を利用した高出力XeClエキシマランプ PDF（30KB）

1994年（平成6年）秋季　第55回応用物理学会学術講演会　講演予稿集　Ｎｏ.2 21p-ZM-9
172nm誘電体バリア放電ランプによるSiO₂膜の室温形成 PDF（29KB）

1994年（平成6年）秋季　第55回応用物理学会学術講演会　講演予稿集　Ｎｏ.2 21p-ZM-10
172nm誘電体バリア放電ランプによるCHCIF₂の光分解とSiO₂の光化学エッチング　 PDF（37KB）

1994年（平成6年）秋季　第55回応用物理学会学術講演会　講演予稿集　Ｎｏ.2 21p-ZM-11
誘電体バリア放電Xe₂*エキシマランプを利用した減圧下での石英ガラスのUV/O₃洗浄 PDF（38KB）

合同大会　講演予稿集 日本化学会第68秋季年会（含連合討論会）、
化学関係学協会連合協議会研究発表会、中部化学関係学協会支部連合協議会秋季大会 2C2 C5
高分子樹脂と真空紫外光（172nm）の光反応 PDF（36KB）

「光技術コンタクト」Ｖｏｌ.32，（1994）Ｎｏ.2
誘電体バリア放電を利用したエキシマランプ PDF（296KB）

付属資料
誘電体バリア放電エキシマランプ内蔵エキシマ光照射装置 PDF（323KB）

付属資料
半導体製造用エキシマUV/O₃洗浄装置 PDF（181KB）