ライトエッジ No.4

1995年発行のレーザー学会誌「レーザー研究」に掲載されたウシオ社員の技術論文、第56回応用物理学会学術講演会で発表されたウシオ社員および共同研究の論文要旨、また宮崎大学 黒澤教授をお招きしての社内講演会要旨をご紹介しています。

（1996年2月 発行）

レーザー学会誌　『レーザー研究』投稿技術論文　Volume 23, Number 6,12 Volum23，Number6 June
1995 レーザーオリジナル
ガスジェット放電励起真空紫外キセノンエキシマ光源 PDF（372KB）

レーザー学会誌　『レーザー研究』投稿技術論文　Volume 23, Number 6,12 Volum23，Number12
December 1995レーザー解説
誘電体バリア放電エキシマランプの原理と応用 PDF（563KB）

第56回応用物理学会　学術講演会　公演予稿集 28a-ZV-3
エキシマランプによるSiウエハのUV/オゾン洗浄
UV/ozone cleaning of Si surfaces by excimer lamp PDF（58KB）

第56回応用物理学会　学術講演会　公演予稿集 28a-SC-2
エキシマランプによるポリアセタールの表面改質
Surface Modification of Polyxymethylene with Excimer Lamp PDF（53KB）

第56回応用物理学会　学術講演会　公演予稿集 28a-ZT-6
誘電体バリア放電ランプによるポリイミドの表面改質
Surface Modification of Polymide by VUV Lamp PDF（33KB）

第56回応用物理学会　学術講演会　公演予稿集 28a-ZT-7
誘電体バリア放電Xe₂*エキシマランプによるUV/O₃洗浄の要因検討
The Conceivable Factors for UV/O₃ Cleaning by Xe Excimer Lamp PDF（46KB）

第56回応用物理学会　学術講演会　公演予稿集　28p-PC-15
172nm誘電体バリア放電ランプによるSiO₂の室温形成
abrication of SiO₂ Film at Room Temperature by 172nm VUV Lamp PDF（51KB）

第56回応用物理学会　学術講演会　公演予稿集　27p-E-12
パルス無声放電励起希ガスエキシマフラッシュランプの開発
Vacuum ultraviolet rare-gas flash lamps excited by a pulsed silent discharge PDF（37KB）

第56回応用物理学会　学術講演会　公演予稿集　27p-E-13
高効率ジェット放電励起キセノンエキシマ光源の開発
Development of a high efficiency jet Xe excimer lamp excited by quasi-DC discharge PDF（25KB）

第56回応用物理学会　学術講演会　公演予稿集　26a-SQ-29
誘電体バリア放電エキシマランプによるポリマーのフォトエッチング
Dry-Etching of Polymers using a Dielectric-Barrier Discharge Driven Excimer Lamp PDF（26KB）

第56回応用物理学会　学術講演会　公演予稿集　26a-SQ-30
誘電体バリア放電エキシマランプを用いた光CVDによる石英薄膜の作製
Direct Photo-Deposition of ilicon Dioxide Films using a Dielectric-Barrier Discharge Driven Excimer Lamp PDF（33KB）

社内講演会　要旨集
真空紫外と新素材について～宮崎大学工学部　黒沢　宏教授～ PDF（881KB）