ライトエッジ総インデックス2000年以前

2000年以前に発刊しましたライトエッジの目次一覧をご紹介します。

第59回応用物理学会/学術講演会（1998年秋季）
Ti:A_l2O₃レーザー（773.6nm）の4倍波シーディングによるArFレーザースペクトルの狭帯域化 PDF（655 KB）

第59回応用物理学会/学術講演会（1998年秋季）
Nd:YAG4倍波発生におけるCsLiB₆O₁₀とβ-BaB₂O₄の性能比較 PDF（686KB）

第43回人工結晶討論会（1998年11月12日～13日）
CsB₃O₅単結晶の育成 PDF（653KB）

レーザー学会学術講演会/第19回年次大会（1999年1月28日～29日）
真空紫外エキシマランプを用いたポリマーのフォトエッチング PDF（363KB）

レーザー学会学術講演会/第19回年次大会（1999年1月28日～29日）
CBO結晶の育成と評価 PDF（599KB）

レーザー学会学術講演会/第19回年次大会（1999年1月28日～29日）
CsLiB₆O₁₀のType1和周波発生におけるNCPM波長の温度依存性 PDF（631KB）

4th International Symposium on 193nm Lithography（1 Jan.～3 Feb. 1999）
ArF Excimer Laser for 193nm Lithography PDF（985KB）

社団法人　日本映画機械工業会会報「Jampiaジャーナル」（1998-11・12）
アメリカ映画館の今昔（1）（2） PDF（387KB）

高知工科大学/工学部/電子・光システム工学科
学科長　平木昭夫　教授
電子と光の技術の追求が、私たちの生活空間を豊かにする PDF（493KB）

第1章
放電ランプの種類と概要 PDF（42KB）

• 1.1　はじめに
• 1.2　放電ランプの種類と概要

第2章
キセノンショートアークランプ PDF（1181KB）

• 2.1　原理と特性、構造
• 2.2　特徴と用途
• 2.3　映写機用光源
• 2.4　ソーラシミュレータへの応用
• 2.5　セラミックキセノンランプの医学および映像ディスプレイへの応用
• 2.6　点灯装置

第3章
超高圧水銀ランプ PDF（933KB）

• 3.1　原理と特性、構造
• 3.2　特徴と用途
• 3.3　露光用光源
• 3.4　光ファイバー用光源
• 3.5　点灯装置

第4章
メタルハライドランプ PDF（248KB）

• 4.1　原理と特性、構造、用途
• 4.2　画像プロジェクター用光源
• 4.3　点灯装置

第5章
その他の放電ランプ PDF（145KB）

• 5.1　外部電極型希ガス放電ランプ
• 5.2　誘電体バリア放電エキシマランプ
• 5.3　ロングアークメタルハライドランプ

第6章
最近のプロジェクタの現状と動向 PDF（149KB）

• 6.1　はじめに
• 6.2　光学系の変遷
• 6.3　光源の変遷
• 6.4　今後の動向

第7章
産業への応用 PDF（227KB）

• 7.1　舞台の照明（フォロースポットライト）
• 7.2　投光器（サーチライト）
• 7.3　映写用ランプハウス
• 7.4　アークイメージ炉
• 7.5　多目的灯具「オプティカルモジュレックス」
• 7.6　分割投影露光装置

あとがき PDF（18KB）

情報ディスプレイ研究調査委員会 報告書（平成10年3月）
投射型液晶用光源・光学系 PDF（138KB）

平成10年度照明学会・全国大会（1998年7月29日～31日）
維持率改善型キセノン水銀ランプ PDF（99KB）

平成10年度照明学会・全国大会（1998年7月29日～31日）
バースト駆動型Kr₂*エキシマ光照射装置 PDF（123KB）

平成10年度照明学会・全国大会（1998年7月29日～31日）
光量が安定化されたエキシマ紫外線照射装置の開発 PDF（203KB）

平成10年度照明学会・全国大会（1998年7月29日～31日）
投射型液晶用光源・光学系（技術動向） PDF（20KB）

CLEO(R)98 Conference on Lasers and Electro-Optics（1998年5月3日～8日）
Long-term operation of CsLiB₆O₁₀ crystal in fourth-harmonic generation of Nd:YAG laser PDF（272KB）

CLEO(R)98 Conference on Lasers and Electro-Optics（1998年5月3日～8日）
200mW 192nm generation using CsLiB₆O₁₀ crystal PDF（199KB）

液晶プロジェクタ用ランプの特性と光源の動向 PDF（125KB）

愛媛大学工学部電気電子工学科 電気エネルギー変換工学研究室青野正明 教授
環境にやさしく、私たちの生活空間を豊かにする夢の「無水銀放電ランプ」 PDF（125KB）

日本赤外線学会誌第7巻2号（1997年12月）
各種（遠・近）赤外線ランプの開発 PDF（376KB）

第25回アモルファス物質の物性と応用セミナー（1998年6月11日～13日）
シリカガラスに生ずる真空紫外光誘起歪みの波長依存性 PDF（142KB）

Advanced Solid-State Laser Optical Society of America（1998年２月）
Development of a high-power, high-repetition rate, diode-pumped, deep UV laser system PDF（87KB）

第45回応用物理学関係連合講演会（1998年3月）
CLBOを用いた192nm光の発生 PDF（21KB）

レーザー学会　学術講演会第18回年次大会（1998年1月）
エキシマランプ・エキシマレーザー併用照射によるフッ素樹脂の効果的表面改質 PDF（32KB）

レーザー学会　学術講演会第18回年次大会（1998年1月）
無声放電励起真空紫外希ガスエキシマランプによる有機物質の超微細加工（2） PDF（34KB）

レーザー学会　学術講演会第18回年次大会（1998年1月）
誘電体バリア放電エキシマランプを用いた薄膜形成 PDF（44KB）

月刊LCD Intelligence3月号（1998年3月）
TFT-LCDの洗浄技術・装置　大画面高精細TFT-LCDを睨む洗浄技術の課題と展望 PDF（80KB）

エキシマランプの実用状況と測定の実際 PDF（86KB）

ウシオ高精度多目的標準灯具「OPTICAL MODULEX」
ショートアークランプ専用の新しいUI灯具「OPTICAL MODULEX」、商品化の意図 PDF（42KB）

ラドテック研究会　創立10周年記念第55回講演会（1997年9月24日）
産業界でのUV光源とその将来展望 PDF（567KB）

1997年秋期応用物理学会講演会（平成９年10月2日～5日）
ND:YAG4倍波発生CLBO中の屈折変化 PDF（395KB）

平成9年度電子情報通信学会 第4回レーザ粒子エレクトロニクス研究会（平成9年10月14日）
CLBO結晶によるNd:YAGレーザの4倍波発生特性 PDF（1552KB）

照明学会誌　97音9月号VOL.81「環境保全と照明システム」特集
白熱電球と環境保全 PDF（353KB）

電子材料　97年10月号「多様なニーズに応えるプリント配線板」特集
分割投影露光装置 PDF（658KB）

電球工業界会報12月号
投写型LCD用メタルハライドランプ PDF（395KB）

日本工業新聞「UV・EB硬化技術」特集号（平成9年9月24日）
最近のUV硬化装置の同行について PDF（377KB）

スタンフォード大学に学んで PDF（492KB）

レーザー学会学術講演会第17回年次大会
石英ガラスの4、4eV発光の照射効果 PDF（375KB）

レーザー学会学術講演会第17回年次大会
エキシマランプを用いた非線形光学結晶のエッチング PDF（355KB）

月刊「ディスプレイ」8月号　テクノタイムズ社発光
液晶プロジェクター用直流点灯形メタルハライドランプ PDF（406KB）

社内報「ウシオパワー」'96・11月号、12月号、'97・2月号、3月号、4月号、ウシオ電機発行
新しいUVおよびVUVエキシマ光源の開発 PDF（777KB）

九州大学大学院総合理工学研究科　森永健次教授
私とセラミック・ガラスの研究 PDF（864KB）

藤原裕文　室蘭工業大学材料物性工学科　教授
光で光を自由に制御する非線形光学 PDF（475KB）

ウィスコンシン大学に学んで PDF（467KB）

1.はじめに PDF（358KB）

2.情報機器と光源の役割－概要－ PDF（368KB）

• 2.1 読み取り機器
• 2.2 記録機器
• 2.3 伝達機器
• 2.4 表示
• 2.5 読み取り用原稿照明光源に要求される特性

3.情報機器の現状と動向 PDF（705KB）

• 3.1 読み取り機器（スキャナ）
• 3.2 記録機器（複写機）
• 3.3 伝達機器（ファクシミリ）
• 3.4 読み取り光源とCCD

4.情報機器用光源の現状と動向 PDF（2126KB）c

• 4.1 冷陰極蛍光ランプ
• 4.2 熱陰極蛍光ランプ
• 4.3 セミホット蛍光ランプ
• 4.4 内部電極型希ガス蛍光ランプ
• 4.5 外部電極型希ガス蛍光ランプ
• 4.6 ハロゲンランプ
• 4.7 LED
• 4.8 半導体レーザ（LD:Laser Diode）
• 4.9 エレクトロルミネセンス（EL:ELectroluminescence）
• 4.10 情報機器用光源ユニット
• 5.情報機器用光源の駆動回路の現状と動向
• 5.1 水銀系及び内部電極型希ガス蛍光ランプ用駆動回路
• 5.2 外部電極型希ガス蛍光ランプ用駆動回路
• 5.3 ハロゲンランプ用駆動回路

あとがき PDF（320KB）

1996(平成8年)秋季応用物理学会
CLBOを用いた高平均出力紫外光発生
High Average Power UV Harmonic Generation Using CLBO Crystal PDF（189KB）

1996(平成8年)秋季応用物理学会
短波長ロングアークランプの開発
Development of Long Arc Lamps Enhancing Shorter Wavelength Emission PDF（30KB）

1996(平成8年)秋季応用物理学会　8P-L-16
エキシマランプによるSiウエハのUV/オゾン洗浄中の表面反応解析 PDF（19KB）

1996(平成8年)秋季応用物理学会　10a-H-6
172nm誘電体バリア放電ランプによるSiO₂膜の室温形成（V） PDF（19KB）

レーザー学会誌　「レーザー研究5 Volume24,Number11(Novenber 1996)91ｰ97」
誘電体バリア放電Xeエキシマランプを用いたポリマーのフォトエッチング PDF（262KB）

Applied Physics letter 68(19)(1966/5)2648-2650
Chemical surface modification on polytetrafluoethylene films vacuum ultraviolet excimer lamp irradiation in ammonia gas atmosphere PDF（67KB）

サカタインクス株式会社 印刷製版技術研究所
塚田紀繁所長，岡森賢治主任研究員
印刷技術と光 PDF（257KB）

北海道大学電子科学研究所/大学院地球環境科学研究科
川崎研究室 川崎昌博教授
レーザを用いた光化学反応で、“ラジカル”の存在を探る。 PDF（258KB）

Journal of Non-Crystalline Solids 179 (1994)260-275
Vacuum ultravioiet-induced strain in vitreous silica used for xenon lamp bulbs PDF（722KB）

シリカガラス製Xeランプバルブに発生する真空紫外光誘起歪み PDF（321KB）

レーザーセミナー´96「レーザーを中心とした新性能光源開発の基礎」 （社）レーザー学会7/22（1996）テキスト47-57
新しいUVおよびVUVエキシマランプの開発 PDF（606KB）

化学工学会「姫路大会講演要旨集」 化学工学会関西支部7/24,25（1996）213 SD2-14
ポリエチレンの172nm光照射による光反応 PDF（350KB）

化学工学会「姫路大会講演要旨集」 化学工学会関西支部7/24,25（1996）214-215 SD2-15
誘電体バリア放電エキシマランプを用いた光洗浄 PDF（380KB）

月刊Semiconductor World 3(1996)30-32
エキシマランプによる化合物半導体の低損傷・高選択比光エッチング PDF（451KB）

光学「最近のプロジェクターの光学システム」 日本光学会　Vol.25,No.6(1996)296-300
プロジェクター用光源 PDF（487KB）

電子材料1996年6月別冊 「液晶ディスプレイ用部品・材料編」67-71
バックライト PDF（491KB）

Program of the 1996 Division of Atomic,Molecular,and Optical Physics Annual Meeting Bulletin of the American Physical Society Vol.41,No.3,5/15～18(1996)1125 FP45
Ultra-Sensitive Absorption Spectroscopy on lons using UV/VUV Synchrotron Radiation PDF（389KB）

早稲田大学理工学部材料工学科不破研究室 PDF（463KB）

ごあいさつ

はじめに PDF（204KB）

1.光放射加熱総論 PDF（257KB）

• 1.1　赤外線放射［赤外線］の波長領域
• 1.2　黒体放射と実在する物質からの赤外放射

2.ランプの構造・特徴 PDF（584KB）

• 2.1　ハロゲンランプ
• 2.2　キセノンランプ
• 2.3　キセノンフラッシュランプ

3. 光放射加熱の応用例 PDF（1703KB）

• 3.1　熱定着への応用
• 3.2　塗装乾燥への応用
• 3.3　半導体製造工程への応用（液体加熱）
• 3.4　半導体製造工程への応用（ウエーハの加熱）
• 3.5　暖房への応用
• 3.6　調理への応用
• 3.7　宇宙実験への応用
• 3.8　光ビームはんだ付け－キセノンショートアークランプの応用
• 3.9　フラッシュ定着－キセノンフラッシュランプの応用
• 3.10　イメージ炉への応用
• 3.11　光（ハロゲンヒータ）の市場性とその拡大

あとがき PDF（84KB）

エントリピーの拡大を誓ったヴァンダービルド大学の留学 PDF（86KB）

大阪大学大学院工学研究科・電気工学専攻電気材料・物性工学講座（佐々木孝友教授） PDF（130KB）

1996(平成8年)春季 第43回　応用物理学会　関係連合講演会　講演予稿集No.2 27p-ZV-6
エキシマを用いた有機光学材料のフォトエッチング PDF（25KB）

1996(平成8年)春季 第43回　応用物理学会　関係連合講演会　講演予稿集No.2 29p-N-2　172nm
誘電体バリア放電ランプによるSiO₂膜の室温形成(IV) PDF（24KB）

1996(平成8年)度　第29回　照明学会全国大会　講演論文集 No.43
希ガス─塩素系誘電体バリア放電エキシマランプにおけるE/pと放射効率 PDF（93KB）

1996(平成8年)度　第29回　照明学会全国大会　講演論文集 No.44
誘電体バリア放電を利用したヘッドオン型Ar₂*、Kr₂*エキシマランプの特性 PDF（154KB）

1996(平成8年)度　第29回　照明学会全国大会　講演論文集 No.45
希ガスエキシマ光の発生特性 PDF（45KB）

1996(平成8年)度　第29回　照明学会全国大会　講演論文集 No.46
液晶プロジェクター用極短アーク直流点灯メタルハライドランプの特性 PDF（149KB）

1996(平成8年)度　第5回　日本オゾン協会年次研究講演会　講演予稿集
新しい紫外光源エキシマランプに関する研究 PDF（112KB）

平成8年　電気学会全国大会　講演論文集
沿面放電型エキシマランプの基礎研究(4) PDF（51KB）

月刊クリーンテクノロジー　1994年12月号
真空装置用パーティクルモニター PDF（94KB）

月刊クリーンテクノロジー　1995年3月号
エッチング装置のパーティクル対策 PDF（222KB）

月刊ポリファイル　1996年　Vol.3, No.385
エキシマ光によるプラスチック表面の官能基置換と非線形性発現の可能性 PDF（144KB）

宮崎大学工学部研究報告　第41号
無声放電励起真空紫外希ガスエキシマランプの開発 PDF（246KB）

ミネソタ大学事情 PDF（16KB）

東海大学工学部電気工学科　村原研究室 PDF（179KB）

光技術コンタクトVol.34，No.1(1996)
直視型、投射型ＬＣＤ用光源と色再現 PDF（757KB）

ホログラフィック　アートデザイナー　石井勢津子
ホログラムの世界と光源 PDF（79KB）

写真工業 Vol.50，No.7，1992年7月号
レーザー再生ホログラムのための高圧水銀ランプを用いたホログラム照明装置 PDF（242KB）

ウシオ技術研究所分析技術について PDF（68KB）

留学制度のご紹介 PDF（16KB）

Munchenに学んで PDF（22KB）

レーザー学会誌　『レーザー研究』投稿技術論文　Volume 23, Number 6,12 Volum23，Number6 June
1995 レーザーオリジナル
ガスジェット放電励起真空紫外キセノンエキシマ光源 PDF（372KB）

レーザー学会誌　『レーザー研究』投稿技術論文　Volume 23, Number 6,12 Volum23，Number12
December 1995レーザー解説
誘電体バリア放電エキシマランプの原理と応用 PDF（563KB）

第56回応用物理学会　学術講演会　公演予稿集 28a-ZV-3
エキシマランプによるSiウエハのUV/オゾン洗浄
UV/ozone cleaning of Si surfaces by excimer lamp PDF（58KB）

第56回応用物理学会　学術講演会　公演予稿集 28a-SC-2
エキシマランプによるポリアセタールの表面改質
Surface Modification of Polyxymethylene with Excimer Lamp PDF（53KB）

第56回応用物理学会　学術講演会　公演予稿集 28a-ZT-6
誘電体バリア放電ランプによるポリイミドの表面改質
Surface Modification of Polymide by VUV Lamp PDF（33KB）

第56回応用物理学会　学術講演会　公演予稿集 28a-ZT-7
誘電体バリア放電Xe₂*エキシマランプによるUV/O₃洗浄の要因検討
The Conceivable Factors for UV/O₃ Cleaning by Xe Excimer Lamp PDF（46KB）

第56回応用物理学会　学術講演会　公演予稿集　28p-PC-15
172nm誘電体バリア放電ランプによるSiO₂の室温形成
abrication of SiO₂ Film at Room Temperature by 172nm VUV Lamp PDF（51KB）

第56回応用物理学会　学術講演会　公演予稿集　27p-E-12
パルス無声放電励起希ガスエキシマフラッシュランプの開発
Vacuum ultraviolet rare-gas flash lamps excited by a pulsed silent discharge PDF（37KB）

第56回応用物理学会　学術講演会　公演予稿集　27p-E-13
高効率ジェット放電励起キセノンエキシマ光源の開発
Development of a high efficiency jet Xe excimer lamp excited by quasi-DC discharge PDF（25KB）

第56回応用物理学会　学術講演会　公演予稿集　26a-SQ-29
誘電体バリア放電エキシマランプによるポリマーのフォトエッチング
Dry-Etching of Polymers using a Dielectric-Barrier Discharge Driven Excimer Lamp PDF（26KB）

第56回応用物理学会　学術講演会　公演予稿集　26a-SQ-30
誘電体バリア放電エキシマランプを用いた光CVDによる石英薄膜の作製
Direct Photo-Deposition of ilicon Dioxide Films using a Dielectric-Barrier Discharge Driven Excimer Lamp PDF（33KB）

社内講演会　要旨集
真空紫外と新素材について～宮崎大学工学部　黒沢　宏教授～ PDF（881KB）

LS:7の概要  PDF（14KB）

LS:7のエピソード  PDF（14KB）

LS:7　当社発表論文
直流点灯によるショートアークメタルハライドランプの寿命特性の改善/LIFE PERFORMANCE IMPROVENMENT of THE SHORT ARC METAL HALIDE LAMP by DC OPERATION PDF（76KB）

LS:7　当社発表論文
誘電体バリアを利用したAr,Krエキシマランプの開発/DEVELOPMENT OF Ar, Kr, EXCIMER LAMPS USING DIELECTRIC BARRIER DISCHARGE PDF（111KB）

LS:7　当社発表論文
XeCl*,KrCl*バリアランプにおける効率とＥ/Ｐの関係/THE RELATIONSHIP BETWEEN RADIANT EFFICIENCY AND E/P IN XeCl*, KrCl* DIELECTRIC BARRIER DISCHARGE LAMPS PDF（114KB）

LS:7　当社発表論文
高分光放射輝度光源/HIGH RADIANCE LAMPS PDF（51KB）

LS:7　当社発表論文
高効率カドミウムイオンランプ/CADMIUM ION LAMPS WITH HIGH RADIANT EFFICIENCY PDF（68KB）

LS:7　当社発表論文
高温におけるWワイヤーの引っぱり強度/TENSILE STRENGTH OF W-WIRE AT HIGH TEMPERATURES PDF（95KB）

LS:7　注目すべき発表論文（社外）
低電力コンパクト無電極ランプ/LOW POWER COMPACT ELECTRODELESS LAMPS PDF（16KB）

LS:7　注目すべき発表論文（社外
セラミックバルブ高出力放電ランプ“光源の未来のKey Technology”/HIGH INTENSITY DISCHARGE
LAMPS WITH CERAMIC ENVELOPES
A Key technology for the lighting future PDF（18KB）

LS:7　注目すべき発表論文（社外）
硫黄ランプ技術の進歩/PROGRESS IN SULFUR LAMPS TECHNOLOGY PDF（16KB）

LS:7　注目すべき発表論文（社外）
サブミクロンホールを設けた白熱光源の赤外光放射の抑制/THE INFRA-RED SUPPRESSION IN
INCANDESCENT LIGHT FROM SUBMICRON HOLES PDF（16KB）

ごあいさつ
液晶バックライト光源特集号に寄せて PDF（14KB）

照明学会研究会資科 LS-95-1～6，P．1～10（1995．02）
情報機器用光源総論PDF（99KB）

日本工業技術センター　T-3845 セミナーテキスト P．16～32（1994）
バックライト用光源の開発動向～蛍光ランプとメタルハライドランプ～PDF（238KB）

テレビジョン学会誌 Vol．48，No．9，P．1110～1113（1994）
直視型，投射型用光源とLCDの色再現PDF（151KB）

信学技報 TECHNICAL REP0RT OF IEICE．EID93-l00 P．7～12（1994）
液晶バックライト用小型希ガス平面蛍光ランプPDF（164KB）

平成5年度照明学会全国大会予稿集 P．24（1993）
短アークメタルハライドランプの直流点灯と寿命特性 PDF（45KB）

平成6年度照明学会全国大会予稿集 P．152(1994)
液晶投射形ディスプレイ用　直流メタルハライドランプの寿命特性PDF（56KB）

平成7年度照明学会全国大会予稿集 P．306～307（1995）
液晶ディスプレイ用バックライトの技術課題　投写液晶形ディスプレイ用バックライトPDF（43KB）

THE 6TH INTERNATIONAL SYMP0SIUM 0N THE SCIENCE＆TECHN0L0GY 0F LIGHT S0URCES
Invited Papers and Abstracts P．275～284（1992）
C0MPACT HID LAMPS F0R LIQUID CRYSTAL PR0JECT0RSPDF（152KB）

1993年（平成5年）秋季 学会研究会資料「無電極放電ランプの現状とその動向」
誘電体バリア放電を利用したエキシマランプの特性 PDF（243KB）

1993年（平成5年）秋季 第54回応用物理学会学術講演会　講演予稿集　No.1 27a-HE-1
誘電体バリア放電を利用したXe₂*エキシマランプの開発PDF（27KB）

1993年（平成5年）秋季 第54回応用物理学会学術講演会　講演予稿集　No.１　27a-HE-2
誘電体バリア放電を利用したXe₂*エキシマランプによるPETフィルムの表面改質 PDF（29KB）

1993年（平成5年）秋季 第54回応用物理学会学術講演会　講演予稿集　No.１　27a-HE-3
172nm誘電体バリア放電ランプによるポリエチレンフィルムの染着性処理 PDF（28KB）

1993年（平成5年）秋季 第54回応用物理学会学術講演会　講演予稿集　No.１　27a-HE-4
172nm誘電体バリア放電ランプによるポリイミドの表面改質 PDF（24KB）

1993年（平成5年）秋季 第54回応用物理学会学術講演会　講演予稿集　No.１　27a-HE-5
172nm誘電体バリア放電ランプによるポリアセタールの表面改質 PDF（23KB）

1993年（平成5年）秋季 第54回応用物理学会学術講演会　講演予稿集　No.１　27a-HE-6
172nm誘電体バリア放電ランプによるテフロンの親水性処理 PDF（25KB）

1994年（平成5年）11月 電気関係学会関西支部連合大会講演論文集
誘電体バリア放電を利用したエキシマランプの特性 PDF（37KB）

1994年（平成6年）春季 第41回応用物理学関係連合講演会　講演予稿集 30p-ZE-2
誘電体バリア放電を利用したXe₂*エキシマランプによる石英ガラスのUV/O₃洗浄 PDF（37KB）

1994年（平成6年）春季 第41回応用物理学関係連合講演会　講演予稿集 30p-ZE-3
誘電体バリア放電を利用したAr₂*エキシマランプの開発 PDF（30KB）

1994年（平成6年） 照明学会全国大会　講演論文集 26
誘電体バリア放電を利用したXe₂*エキシマランプの光出力特性 PDF（57KB）

1994年（平成6年） 照明学会全国大会　講演論文集 27
誘電体バリア放電を利用したヘッドオン型Xe₂*エキシマランプの特性 PDF（57KB）

1994年（平成6年） 照明学会全国大会　講演論文集 28
誘電体バリア放電を利用したXeCl*エキシマランプ PDF（62KB）

1994年（平成6年） 照明学会全国大会　講演論文集 29
エキシマ光照射装置 PDF（62KB）

1994年（平成6年）秋季　第55回応用物理学会学術講演会　講演予稿集　Ｎｏ.1 20a-ZV-10
誘電体バリア放電を利用した高出力XeClエキシマランプ PDF（30KB）

1994年（平成6年）秋季　第55回応用物理学会学術講演会　講演予稿集　Ｎｏ.2 21p-ZM-9
172nm誘電体バリア放電ランプによるSiO₂膜の室温形成 PDF（29KB）

1994年（平成6年）秋季　第55回応用物理学会学術講演会　講演予稿集　Ｎｏ.2 21p-ZM-10
172nm誘電体バリア放電ランプによるCHCIF₂の光分解とSiO₂の光化学エッチング　 PDF（37KB）

1994年（平成6年）秋季　第55回応用物理学会学術講演会　講演予稿集　Ｎｏ.2 21p-ZM-11
誘電体バリア放電Xe₂*エキシマランプを利用した減圧下での石英ガラスのUV/O₃洗浄 PDF（38KB）

合同大会　講演予稿集 日本化学会第68秋季年会（含連合討論会）、
化学関係学協会連合協議会研究発表会、中部化学関係学協会支部連合協議会秋季大会 2C2 C5
高分子樹脂と真空紫外光（172nm）の光反応 PDF（36KB）

「光技術コンタクト」Ｖｏｌ.32，（1994）Ｎｏ.2
誘電体バリア放電を利用したエキシマランプ PDF（296KB）

付属資料
誘電体バリア放電エキシマランプ内蔵エキシマ光照射装置 PDF（323KB）

付属資料
半導体製造用エキシマUV/O₃洗浄装置 PDF（181KB）