ライトエッジ総インデックス2000年以降

2000年以降に発刊したライトエッジの目次一覧をご紹介します。

第12回プリント配線板EXPO 専門セミナー（2011.1）
ロール to ロール露光装置の最新動向 PDF（7.39MB）

秋季第71回応用物理学会学術講演会（応用物理学会）（2010.9）
電子線励起法による高Al組成AlGaN/AlN量子井戸からの100mW深紫外発光 PDF（212KB）

SPIE Advanced Lithography 2011（2011.3）
Tin LDP Source Collector Module (SoCoMo)ready for integration into Beta scanner PDF（3.30MB）

SPIE Advanced Lithography 2011（2011.3）
Development of debris-mitigation toolfor HVM DPP source PDF（3.26MB）

SPIE Advanced Lithography 2011（2011.3）
Sn ?lm and ignition control for performance enhancementof laser-triggered DPP source PDF（688KB）

Proceedings of SPIE （SPIE Advanced Lithography 2011）（2011.3）
Regeneration of imprint molds usingvacuum ultraviolet light PDF（1.62MB）

2011マイクロマシン／MEMS技術大全（電子ジャーナル）（2011.5）
ウシオの露光装置 PDF（1.91MB）

2011マイクロマシン／MEMS技術大全（電子ジャーナル）（2011.5）
ウシオのスプレーコータ PDF（2.41MB）

Reprinted by permission from Nature Photonics Vol.4, pp.767-770, November 2010 Copyright: Macmillan Publishers Limited.（2010.9）
100 mW deep-ultraviolet emission fromaluminium-nitride-based quantum wells pumpedby an electron beam PDF（864KB）

国立大学法人 千葉大学 大学院園芸学研究科 環境園芸学専攻
環境調節工学研究室 教授 後藤 英司さん

（前半）環境調整工学が変える、農業はハイテクの施設農業へ、植物工場へ。 PDF（7.77MB）
（後半）主な研究発表 PDF（1.50MB）

日本光医学光生物学会（2010.7）
空冷エキシマランプとエキシマフィルタを用いた紫外線治療機器の開発 PDF（2.53MB）

秋季第71回応用物理学会 学術講演会（2010.9）
紫外発光タイプの完全水銀フリー蛍光ランプの開発（2） VUV～DUV 領域 PDF（128KB）

電気学会 プラズマ・パルスパワー合同研究会（2010.12）
172nm 真空紫外光で励起した アンモニアガスの脱硝反応特性 PDF（736KB）

日本燃焼学会 第48回燃焼シンポジウム（2010.12）
真空紫外光照射アンモニアガスによる無触媒脱硝特性 PDF（480KB）

月刊電子材料7月号（工業調査会）（2010.7）
μTAS 接着装置「SUS504」 PDF（2.13MB）

JETI 9月号（ジェティ）（2010.9）
拡大する産業用LEDの利用－UVを中心として PDF（952KB）

JETI 9月号（ジェティ）（2010.9）
LED事業とLED電球関連技術 PDF（1.33MB）

電子ジャーナル10月号（電子ジャーナル）（2010.10）
ロールtoロール露光装置 最新動向 PDF（300KB）

電子ジャーナル10月号（電子ジャーナル）（2010.10）
ウシオ電機のUV硬化システム PDF（604KB）

電子情報通信学会 レーザー・量子エレクトロニクス研究会信学技報（2010.11）
電子線励起したAlGaN/AlN量子井戸からの100mW深紫外発光 PDF（664KB）

月刊ディスプレイ12月号（テクノタイムズ）（2010.11）
太陽電池特性評価用ソーラシミュレータ PDF（1.00MB）

プロジェクターの最新技術・改訂版（シーエムシー出版）（2010.11）
プロジェクター用ランプ PDF（752KB）

月刊オプトロニクス12月号（オプトロニクス社）（2010.12）
EUV光源の開発状況 PDF（2.08MB）

国立大学法人 岐阜大学 大学院工学研究科 環境エネルギーシステム専攻
守富･神原･隈部研究室 准教授 神原信志さん
（前半）エネルギー利用に関わる環境問題解決へ PDF（8.03MB）
（後半）主な研究発表 PDF（5.51MB）

Semiconductor FPD World（プレスジャーナル）（2009.8）
エキシマ光を用いた精密ドライ洗浄技術 PDF（1.22MB）

電気学会技術報告(新しい光源とモデリング・計測調査専門委員会)(2009.10)
誘電体バリア放電を用いたエキシマランプ PDF（1.15MB）

2010太陽光発電技術大全（電子ジャーナル）（2009.8）
太陽電池特性評価用ソーラーシミュレータ PDF（762KB）

電子材料 10月号（工業調査会）（2009.10）
ステップ＆リピート投影露光装置 「UX-5シリーズ」 PDF（874KB）

Applied Physics Letter（2010.1）
Stress-Enhancement in free-standing Si pillars through nonequilibriumdehydrogenation in SiN:H stress-liners by ultraviolet light irradiation PDF（399KB）

東京大学CORAL事業 教科書（2010.3）
VUV～UV光の発生方法とその応用 PDF（1.25MB）

日本臨床検査自動化学会（2009.10）
POCT機器 Banalyst Aceを用いた高感度CRP測定試薬の性能評価 PDF（2.14MB）

環瀬戸内海光源研究会（2009.11）
Modeling of a Projector Lamp Operatedby a U-Drive Pulse Power Source PDF（510KB）

Electronic Journal 第229回 Technical Symposium（電子ジャーナル）（2010.1）
ロールtoロール型FPC露光装置の最新動向 PDF（4.35MB）

2010年春季第57回応用物理学会学術講演会（2010.3）
紫外発光タイプの完全水銀フリー蛍光ランプの開発 PDF（571KB）

香川大学 工学部 知能機械システム工学科 准教授
鈴木孝明 （すずきたかあき）さん
化学･生物学の実験室･プラントをチップ上に再現 PDF（11.3MB）

日本学術振興会第162委員会 第61回研究会（日本学術振興会）（2008.12）
紫外光源の応用 PDF（3.45MB）

日本化学会欧文誌 Vol.82（2009.2）
Photochemical Removal of NO,NO₂,and N₂O by 146nm Kr₂ Excimer Lamp in N2 at Atmospheric Pressure PDF（5.22MB）

日本応用物理学会欧文誌（2009.3）
Photochemical Removal of SO₂ and CO₂ by 172nm Xe₂ and 146nm Kr₂ Excimer Lamps in N₂ or Air at Atmospheric Pressure PDF（4.76MB）

JEITAディスプレイ専門委員会（電子情報技術産業協会）（2009.2）
完全水銀フリーバックライト光源：XEFL PDF（6.18MB）

月刊「 オプトロニクス３月号」（オプトロニクス社）（2009.2）
光配向装置 PDF（2.91MB）

機器・試薬セミナー（日本臨床検査自動化学会）（2008.10）
次世代全血免疫分析装置「バナリストエース」と専用試薬「バナリストエースCRP」のご紹介 PDF（11.5MB）

第19回生物試料分析科学会 ワークショップ１（生物試料分析科学会）（2009.2）
μ-TAS技術による微量血液測定システムの開発 PDF（434KB）

光・量子デバイス研究会（電気学会）（2009.1）
光線力学治療（PDT）専用メタルハライドランプの開発 PDF（2.11MB）

国立大学法人 九州大学大学院 医学研究院 臨床検査医学分野 教授
九州大学大学院 検査部 部長
康 東天（かん どんちょん）さん
細胞組織の機能低下の原因を解明し、
老化･発病防止の道を拓く「ミトコンドリア研究」 PDF（19.1MB）

LS-11（11th Int’l Symp. on the Science and Technology of Light Sources）（2007.5）
Study of HID lamp by a 3-D and time-dependent model :determination of temporal distributions of electrode temperatures PDF（1.2MB）

LS-11（11th Int’l Symp. on the Science and Technology of Light Sources）（2007.5）
Current waveform optimization of AC-operated short arc ultra high pressure mercury lamps for projection applications PDF（1.2MB）

LS-11（11th Int’l Symp. on the Science and Technology of Light Sources）（2007.5）
Electrode stabilized Xe filled Flash Lamp as a DUV and VUV Point Source PDF（847KB）

ヨーロッパ太陽電池国際会議（2007年9月）
FORMATION OF POLYCRYSTALLINE Si FILMS OVER 3μm IN THICKNESS ON QUARTZ SUBSTRATES BY FLASH LAMP ANNEALING PDF（1.9MB）

「エレクトロニクス洗浄技術」 技術情報協会（2007年10月）
紫外線洗浄 PDF（4.2MB）

2007年秋季 第68回応用物理学会学術講演会（2007年9月）
塩素ビームSiエッチングの表面反応における紫外光の影響 PDF（1.6MB）

Fifth international symposium on control of semiconductor interfaces（2007.11）
Role of UV Irradiation during Si Etching Process in Chlorine Plasma PDF（805KB）

2008年春季 第55回応用物理学会学術講演会（2008年3月）
完全水銀フリー蛍光ランプの開発 Development of The Perfect Hg-free Fluorescent Lamp PDF（455KB）

「月刊ディスプレイ」（2008年6月）
水銀レス蛍光ランプを用いたバックライトの展開 －大画面LCDモニター － PDF（2.1MB）

FPD International 2008 プレセミナー（2008年6月）
デジタル・サイネージに使用される大型LCD用バックライト光源 PDF（1.4MB）

ICOPS2008（ 35th IEEE International Conference on Plasma Science）（2008.6）
MODELING OF A PROJECTOR LAMP OPERATED BY A U-DRIVE PULSE POWER SOURCE PDF（459KB）

25th International Conference of Photopolymer Science and Technology（ICPST-2008.6 25）
Techniques for Measuring Rate Constants for Acid Generation from PAG（ Photo Acid Generator） during ArF Exposure PDF（1.8MB）

25th International Conference of Photopolymer Science and Technology（ICPST-2008.6 25）
A Study of Photoresist Pattern Freezing for Double Imaging using 172nm VUV Flood Exposure PDF（5MB）

月刊「光アライアンス」 日本工業出版社（2007年7月）
光線力学診断および治療における放電ランプの応用 PDF（3.8MB）

ポルフィリン学会（2008年4月）
光線力学療法における、専用ランプの開発とその装置の開発 PDF（1.6MB）

Visual Dermatology（2008年7月）
皮膚科領域での光線力学治療における光増感性物質と光源装置 PDF（3.5MB）

日本美容皮膚科学会誌（2008年7月）
5-アミノレブリン酸外用薬を用いた光線力学的療法における健常皮膚への影響―アミノレブリン酸の濃度と有害事象の発現の関連性について― PDF（4.8MB）

日本臨床化学会（2008年8月）
マイクロ流体チップを用いた微量血液分析システムの開発 PDF（651KB）

国立大学法人 東京工業大学 大学院総合理工学研究科 創造エネルギー専攻
堀田研究室 堀田栄喜教授
究極の新エネルギー、次世代半導体・・・未来のライフサイエンスの道を拓く PDF（2.1MB）

光テクノロジー and フロンティア
究極の「光」、次世代半導体の実現へ PDF（436KB）

「レーザー研究」日本レーザー学会（2001年10月）
リソグラフィ用EUV光源 PDF（1.06MB）

「超精密」精密工学会超精密加工専門委員会編（2005年11月）
EUVL用ディスチャージ生成プラズマ光源の開発 PDF（886KB）

プラズマ核融合学会誌Vo.81 12月号（2005年11月）
これからの光源－EUV 光源 PDF（674KB）

SPIE, 2005 International EUVL Symposium（2005年10月）
Xe- and Sn-fueled Z-pinch EUV source development aiming at HVM PDF（2.32MB）

SPIE, 2006 International EUVL Symposium（2006年2月）
Development of Xe-and Sn-fueled high-power Z-pinch EUV source aiming at HVM PDF（380KB）

SPIE, 2006 International EUVL Symposium（2006年10月）
Development of high-power Sn-fueled DPP EUV source for enabling HVM PDF（1.12MB）

SPIE, 2007 International EUVL Symposium（2007年2月）
Development of Sn-fueled high-power DPP EUV source for enabling HVM PDF（554KB）

SPIE, 2007 International EUVL Symposium（2007年10月）
High-power DPP EUV source development toward HVM PDF（1.76MB）

「EUV光源の開発と応用」シーエムシー出版（2007年2月）
放電プラズマEUV光源（DPP） PDF（1.82MB）

平成18年度EUV露光技術研究成果報告会（2007年5月）
DPP方式EUV光源の開発 PDF（3.48MB）

NGL 2007（2007年7月）
実用化に向けたDPPの開発 PDF（712KB）

2007 International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography（2007年10月）
Progress on DPP source development towards HVM PDF（1.1MB）

電子ジャーナルセミナー「プリント配線板パターン形成技術徹底解説」 (2006年8月)
プリント配線板露光技術の最新動向 PDF（3.9MB）

2007電子回路基板技術大全（電子ジャーナル） (2006年11月)
FPC用露光装置 UX-3100SR／UFX-2458B PDF（19KB）

電子材料（工業調査会） (2006年11月号)
フォトレジスト塗布・露光・現像プロセスについて PDF（252KB）

月刊コンバーテック（加工技術研究会） (2006年8月)
スプレーコータのMEMS製造における役割とコーティング用途への可能性 PDF（492KB）

第67回応用物理学会学術講演会 (2006秋季)
瞬間熱処理法によるボトムゲート型TFT用Si薄膜の結晶化 PDF（233KB）

第54回応用物理学会学術講演会 (2007春季)
フラッシュランプアニールにより形成した高品質多結晶シリコン薄膜 PDF（260KB）

第54回応用物理学会学術講演会 (2007春季)
フラッシュランプアニールによるアモルファスシリコン薄膜の面内均一結晶化 PDF（273KB）

第54回応用物理学会学術講演会 (2007春季)
フラッシュランプアニールにより形成した多結晶シリコン薄膜の結晶性の調査 PDF（58KB）

第54回応用物理学会学術講演会 (2007春季)
フラッシュランプアニールにより形成された多結晶Si薄膜への高圧水蒸気熱処理 PDF（41KB）

21st European Photovoltaic Solar Energy Conference (2006.9)
A NEW TYPE POLY-Si PREPARED BY FAST LAMP ANNEALING OF Cat-CVD a-Si AND ITS DEFECT PASSIVATION BY HIGH PRESSURE WATER VAPOR ANNEALING PDF（686KB）

4th International Conference on Hot-Wire CVD(Cat-CVD)Process (2006.10)
Poly-Si Films with Long Carrier Lifetime Prepared by Rapid Thermal Annealing of Cat-CVD Amorphous Silicon Thin Films PDF（192KB）

第21回光源物性とその応用研究会 (2006.10)
アンテナ効果を用いたマイクロ波励起小型超高圧水銀ランプの発光特性 PDF（323KB）

第21回光源物性とその応用研究会 (2006.10)
アンテナ励起型小型マイクロ波放電ランプの電磁界分布とランプインピーダンス PDF（1.1MB）

ナノオプティクス研究グループ第15回研究討論会 (2006.7)
干渉による露光ムラを低減する近接場光リソグラフィ用フォトマスク PDF（92KB）

第67回応用物理学会学術講演会 (2006秋季)
SiNを用いたAlInGaN系紫外LED高出力化の検討 PDF（17KB）

日本美容皮膚科学界誌 (2006.6)
500nm以上の可視光線を用いた尋常性ざ瘡の光線治療 PDF（716KB）

MHS2006 and Micro-Nano COE (2006.11)
Surface modification of DMFC using ultra-low energy electron beam irradiation system with silicon base membrane PDF（1.6MB）

国立大学法人北陸先端科学技術大学院大学 マテリアルサイエンス研究科
松村研究室 松村英樹教授
電子デバイスの性能を高め、新用途を拓く次世代薄膜形成技術「Cat-CVD」 PDF（5.5MB）

The 18th International Symposium on Plasma Chemistry(ISPC-2005)
Time-dependent modeling of a pulse-current-operated EUV radiation source PDF（56KB）

IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE,VOL.34, NO.2,APRIL 2006
Three-Dimensional Modeling of a Direct Current Operated Hg-Ar Lamp PDF（250KB）

IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE,VOL.34,No.4,AUGUST 2006
Self-Consistent Model of HID Lamp for Design Applications PDF（241KB）

IAS (IEEE Industry application society) 2004 Annual Meeting (2004年10月）
Recent progress on UV lamps for industries PDF（478KB）

Journal of Physics D:Applied Physics 38号 (2005年)
In situ measurements of electrode work functions infree-burning arcs during operation at atmospheric pressure PDF（370KB）

Journal of Physics D:Applied Physics 37号(2004年)
A Study of Radial Cataphoresis and Ion densities inHigh Power Density Hg-Ar Discharges PDF（306KB）

Review of Scientific Instruments 76,086107(2005)
Mechanisms of sound generation during flash lamp operation PDF（108KB）

日本皮膚科学会誌 THE JOURNAL OF DERMATOLOGY Vol.31 No.12(2004年12月)
Delta-Aminolevulinic Acid-Based Photodynamic Therapy for Acne on The Body PDF（281KB）

OPTICAL REVIEW (Vol.12,No.3 May/June,2005)
Photodynamic Therapy for Cancer Cells Using a Flash WaveLight Xenon Lamp PDF（153KB）

日本レーザー医学会誌　JJSLSM Vol.27 No.2(2006年7月)
新規水銀ランプを利用した光線力学的診断用ランプ光源装置 PDF（505KB）

「電子材料」2004年11月号より
MEMS用投影露光装置およびレジストスプレーコータ PDF（378KB）

「電子材料」2005年11月号
真空紫外線によるμ-TAS接着装置 PDF（397KB）

月刊ディスプレー (2004年12月号)
FPDドライバー回路実装用 TAB検査装置 PDF（373KB）

東京都立技術研究所　講習会テキスト(2005年10月)
分光放射計による測定技術 PDF（328KB）

『光応用技術・材料総覧』2章1節9項「光洗浄」
光洗浄 PDF（506KB）

熊本大学大学院自然科学研究科 複合新領域科学専攻
21世紀COEプログラム「衝撃エネルギー科学の深化と応用」拠点リーダー 秋山秀典教授
世界トップのパルスパワー研究で産業創生に挑む。 PDF（744KB）

第1章
はじめに PDF（18KB）

第2章
人工光源について PDF（24KB）

第3章
放電ランプとは PDF（44KB）

• 3.1 はじめに
• 3.2 放電ランプの種類と概要

第4章
各ランプの基礎知識 PDF（1044KB）

• 4.1 キセノンランプ
• 4.2 キセノンフラッシュランプ
• 4.3 超高圧水銀ランプ
• 4.4 プロジェクタ用超高圧水銀ランプ（NSH）
• 4.5 キャピラリーランプ（毛細管型超高圧水銀ランプ）
• 4.6 高圧水銀ランプ
• 4.7 低圧水銀ランプ
• 4.8 キセノンマーキュリーランプ（Deep UVランプ）
• 4.9 メタルハライドランプ
• 4.10 外部電極式希ガス蛍光ランプ
• 4.11 誘電体バリア放電エキシマランプ

あとがき PDF（15KB）

マイクロエレクトロニクスショー（2003年4月）
半導体パッケージ用ステッパ「UX-7シリーズ」 PDF（133KB）

第9回 電子回路世界大会（2002年10月）
Predominance of Projection Exposure System to Contact Exposure System for the Manufacture of Prented Wired Board PDF（404KB）

第6回 SEMIマイクロシステム/MEMSセミナー（2002年12月）
大面積投影露光装置 PDF（90KB）

Electronic journal 第52回 Technical Symposium（2002年10月）
マイクロマシン/MEMS用露光技術と露光装置 PDF（1092KB）

電気情報通信学会 シリコンデバイス研究会（2002年3月）
フラッシュランプを用いた新しいPZT膜結晶化技術 PDF（517KB）

平成14年度 照明学会 全国大会（2002年8月）
希ガス蛍光ランプのエネルギーバランスの見積もり PDF（476KB）

第13回 光線力学学会（2003年3月）
Na-Liランプを用いたALA-PDT用光源装置の開発 PDF（467KB）

第13回 光線力学学会（2003年3月）
PDT用メタルハライドランプの開発 PDF（615KB）

エレクトロニクス実装技術（2003年6月号）
フレキシブル基板用ロールtoロール露光装置 PDF（146KB）

光技術コンタクト（2003年4月号）
エキシマランプと光洗浄 PDF（366KB）

光技術動向調査委員会 平成14年調査報告書（2003年3月）
ディスプレイ-コンポーネント PDF（50KB）

月刊ディスプレイ（2003年7月号）
札幌シネマフロンティアのデジタルシネマプロジェクタ PDF（247KB）

姫路工業大学　高度産業科学研究所　所長　望月孝晏教授
SPring-8とニュースバルの連携が創り出す光の新技術 PDF（328KB）

照射利用グループ 第８回定例研究会 (社)原子力産業会議主催（2002年3月）
電子線照射装置Min-EBとその応用例について PDF（1489KB）

月刊ディスプレイ７月号（2002年7月）
データプロジェクター用ランプと技術 PDF（543KB）

月刊クリーンテクノロジー（2002年5月号 38頁～41頁）
VUV/O₃洗浄用エキシマ光照射装置 PDF（499KB）

月刊コンバーテック（2001年12月）
表面改質と薄膜硬化 PDF（494KB）

JELMA Journal 電球工業会報（2002年7月）
姫路科学館―アトムの館― PDF（700KB）

ASET活動報告
F₂レーザ光源の超狭帯域・超高繰り返し技術と波長基準ランプの開発 PDF（590KB）

ASET活動報告2
F₂レーザ光源の超狭帯域・超高繰り返し技術の開発 PDF（1378KB）

ASET活動報告3
F₂レーザ用波長基準光源の開発の開発 PDF（253KB）

大阪大学　接合科学研究所　所長　牛尾誠夫教授
マクロからナノまで、進化し続ける溶接技術 PDF（527KB）

NMES国際シンポジウム（2001年7月）
Modification of Nafion by low dose electron beam exposure for use as a polymer electrolyte membrane for DMFC PDF（343KB）

第50回 高分子討論会（2001年9月）
Nafion Based Polymer Electrolyte Membranes For Improved Direct Methanol Fuel Cell Performance PDF（363KB）

ISSM（2001年10月）
Advanced EB-Cure Process and Equipment for Low-k Dielectric PDF（496KB）

2001 International Conference on Solid State Devices and Materials（2001年9月）
Flash Lamp Anneal Technology for Effectively Activating Ion Implanted Si PDF（500KB）

2001 International Conference on Solid State Devices and Materials（2001年9月）
Novel PZT Crystallization Technique by Using Flash Lamp for FeRAM Embedded LSIs and 1 Tr FeRAM Devices PDF（546KB）

神戸市立工業高等専門学校（2001年6月）
エキシマランプの産業応用 PDF（334KB）

第16回 生体機能開発関連化学部会シンポジウム（2002年9月）
メタルハライドランプを用いた癌の光線力学療法 PDF（370KB）

第11回 マイクロエレクトロニクスシンポジウム（2001年10月）
高重ね合わせ精度に対する分割投影露光機スケーリングの効果 PDF（443KB）

「マイクロマシン/MEMS徹底解剖」セミナー（2001年10月）
マイクロマシン/MEMS用露光技術と装置 PDF（460KB）

Journal of Electrochemical Society
Modified Nafion 117 as an Improved Polymer Electrolye Membrane for Direct Methanol Fuel Cells PDF（599KB）

塗装技術10月号
低加速電圧・超小型EB照射装置の適用 PDF（619KB）

レーザー研究10月号
リソグラフィ用EUV光源 PDF（605KB）

月刊ディスプレイ11月号
プロジェクター用光源の現状と今後の展開 PDF（591KB）

表面実装マガジン
TAB露光装置 PDF（612KB）

電子材料10月号
分割投影露光装置 PDF（661KB）

2001 International Conference on Solid State Devices and Materials（2001年9月）
High-Performance Low-k Dielectric Using Advanced EB-Cure Process PDF（448KB）

ポストSMT化を狙う電子部品内蔵基板技術のその後 PDF（539KB）

露光装置に求められる課題と分割投影露光装置の開発コンセプト PDF（735KB）

九州大学大学院　工学研究院　材料工学部門　本岡輝昭教授
未来を担う新機能材料 PDF（675KB）

第1章
まえがき PDF（16KB）

• 1.1　ウシオの露光装置特集にあたって

第2章
アプリケーション例と使われる装置 PDF（307KB）

• 2.1　アプリケーション例と使われる装置
• 2.2　TABの市場･技術動向

第3章
マルチメディア製品を支えるウシオの露光装置 PDF（326KB）

• 3.1　露光装置とは
• 3.2　ウシオの露光装置

第4章
露光装置の要素技術 PDF（430KB）

• 4.1　光源
• 4.2　照明系
• 4.3　結像系
• 4.4　アライメント系
• 4.5　搬送系
• 4.6　制御系

第5章
ウシオの「光」装置開発の歴史 PDF（847KB）

• 5.1　はじめに/開発年表
• 5.2　露光装置開発前史
• 5.3　高性能照明ユニットの開発
• 5.4　露光装置への展開

第6章
特別寄稿 PDF（187KB）

• 6.1　マイクロマシンと露光

あとがき PDF（15KB）

IPC Printed Circuits Expo 2001 技術フォーラム（2001年4月）
High Overlay Accuracy Using Scaling Method in PWB Photolithography PDF（156KB）

IPC Printed Circuits Expo 2001 技術フォーラム（2001年4月）
The Latest Alignment Technology in PCB Step-and-Repeat Projection Exposure System PDF（316KB）

13回結晶成長国際会議（2001年7月)
Cz-Growth of Optical Nonlinear Crystal CsLiB₆O₁₀ PDF（17KB）

電子材料7月号別冊「液晶ディスプレイ技術2001年」（2001年7月）
エキシマVUV/O₃洗浄装置 PDF（501KB）

J. Master. Res,. Vol16, No7, Jul 2001（2001年7月）
Water-associated surface degradation of CsLiB₆O₁₀ crystal during harmonic generation in the ultraviolet region PDF（502KB）

月刊食品機械装置7月号（2001年7月）
閃光パルス殺菌装置について PDF（275KB）

USHIOハロゲン電球技術資料
ハロゲン電球の基礎 PDF（1.2MB）

ハロゲンランプの寿命と各種要因の役割 PDF（43KB）

東海大学 総合科学技術研究所 光科学研究部門 佐々木政子教授
生命・環境と光のかかわりをひもとく PDF（380KB）

照明学会　光関連材料・デバイス専門研究会（2000年10月）
液晶プロジェクタ用光源の技術動向 PDF（475KB）

日本食品技術アカデミー第11回講座
閃光パルス殺菌(FL殺菌) PDF（359KB）

TPCA ショー2000　セミナー（2000年11月）
Most Advanced Technology Trend in Step-&-Repeat Projection Exposure System for Printed-Circuit Boards PDF（481KB）

日本学術振興会半導体界面制御技術第154委員会平成12年度第2回研究会（2000年11月）
位相差PWM 電力制御方式による高効率(力率)RTP PDF（442KB）

応用放射線化学シンポジューム（2000年10月）
超低加速電圧小型電子線照射装置とその応用 PDF（357KB）

第15回UV/EB研究会（2000年11月）
超低エネルギー電子加速器Min-EB PDF（503KB）

電子ジャーナル「2001FPDテクノロジー大全」
UV/O₃洗浄用エキシマ光照射装置 PDF（363KB）

低圧水銀フラットパネル（Form An Arc Lamp）のご紹介 PDF（397KB）

丸文株式会社 映像機器部デジタルイメージング課主任 新善行氏
DLP・DMDの技術 PDF（648KB）

和歌山大学　システム工学部　光メカトロニクス学科
光波・画像計測研究グループ　森本吉春教授
マクロからミクロまで、縞で高速形状計測 PDF（451KB）

第10回国際光線力学学会（2000年5月）
日光角化症に対する光線力学療法 PDF（412KB）

Advanced High-Power Lasers and Applications（2000年11月）
High power, narrowband, DUV laser source by frequency mixing in CLBO PDF（391KB）

第61回応用物理学会学術講演会（2000年9月）
次世代露光用ロングパルスF₂レーザーの開発 PDF（326KB）

レーザ学会　レーザエキスポ2000特別セミナー（2000年4月）
レーザーアブレーションプロセスとその応用 PDF（360KB）

エレクトロニクス実装学会（2000年6月）
プリント板用分割投影露光装置の最新技術動向 PDF（394KB）

99International Conference（1999年6月）
TSSG-pulling of sillenite Bi₁₂Tio₂₀ for EOS application PDF（660KB）

The 1st Asian Conference on Crystal Growth and Crystal（2000年8月）
TSSG of CsLiB₆O₁₀ and CsB₃O₅; their similarity and dissimilarity PDF（660KB）

月刊ディスプレイ12年8月号（2000年8月）
モバイルから大型プロジェクタに対するウシオの光源 PDF（386KB）

日本電球工業会報12年7月号（2000年7月）
液晶プロジェクタ用光源の最近の動向（直流点灯方式） PDF（384KB）

月刊ディスプレイ12年8月号（2000年8月）
液晶プロジェクタ用光源の技術動向 PDF（448KB）

日本電球工業会報12年7月号（2000年7月）
ハロゲン電球 PDF（371KB）

照明学会誌（論文号）（2000年5月）
ヘッドオン型Ar₂*、Kr₂*エキシマ光照射装置の特性 PDF（587KB）

月刊ディスプレイ12年10月号（2000年10月）
波長変換による短波長光発生技術 PDF（423KB）

Japanese Jounal of Applied Physics
Thermal Expansion Coefficients of Optical Crysal CsLiB₆O₁₀ PDF（386KB）

表面実装マガジン（2000年9月）
BGA/CSP基板用投影露光装置 PDF（491KB）

日刊工業新聞（2000年4月）
電子線照射技術－超低エネルギー電子線照射装置 PDF（339KB）

応用物理第69巻第5号（2000年5月）
高機能性光学結晶と光エレクトロニクス PDF（870KB）

電気学会部門誌12年7月号
非線形光学結晶CsB₃O₅の育成と評価 PDF（445KB）

Deep UVランプ専用ランプハウスの標準化 PDF（365KB）

立命館大学 理工学部 光工学科 岩崎研究室
ＳＲセンター長 岩崎博教授
常識を破った放射光利用で未来を照らす PDF（499KB）

第1章
映像特集発行にあたって PDF（16KB）

第2章
シネマ産業 PDF（464KB）

• 2.1　シネマの変遷
• 2.1.1　変遷年表
• 2.1.2　シネマ産業の今昔
• 2.2　スクリーン
• 2.3　モノクロからカラーへ
• 2.4　劇場形態の変化
• 2.5　デジタルシネマの台頭
• 2.5.1　LCD
• 2.5.2　ILA/D-ILA
• (1)　ILA/D-ILA
• (2)　ILAプロジェクタ技術を使用する電子シネマ
• 2.5.3　DLP/DMD
• (1)　DLPは映画産業に何をもたらすか－TIへのインタビュー
• (2)　DMDプロジェクタの現状と将来の応用
• 2.5.4　驚きのDLPシネマ
• 2.6　つくば博にみる映像技術
• 2.7　未来型シネマの展望

第3章
プレゼンテーション用映像機器 PDF（355KB）

• 3.1　プレゼンテーション用映像機器の変遷
• 3.2　新しい表示デバイスによるプロジェクタの現状と動向
• 3.2.1　液晶プロジェクタの光学系
• 3.2.2　LCD
• 3.2.3　D-ILA
• 3.2.4　DLP
• 3.3　将来への展望

第4章
映像機器用光源 PDF（269KB）

• 4.1　映像機器用光源の変遷
• 4.2　ハロゲンランプ
• 4.3　キセノンランプ
• 4.4　メタルハライドランプ
• 4.5　超高圧水銀ランプ

第5章
映像産業とウシオグループ PDF（234KB）

• 5.1　世界最強のデジタル映像集団へ
• 5.2　ウシオグループの紹介
• 5.2.1　ウシオ電機
• 5.2.2　ウシオライティング
• 5.2.3　ジーベックス
• 5.2.4　クリスティ

第6章
あとがき PDF（14KB）

日本分光学会第35回夏期セミナー（1999年7月）
エキシマランプ PDF（492KB）

第11回環瀬戸内光源研究会（1999年7月）
希ガス蛍光ランプにおけるVUV光の変換効率の見積もり PDF（435KB）

照明学会公開研究会「新しい短波長光源・材料技術」（1999年10月）
CLBOによる全固体深紫外レーザー光源 PDF（448KB）

ラドテック研究会（1999年12月）
超小型・超低エネルギー電子加速器Min-EBの現状 PDF（486KB）

第3回マイクロマシンシステム/MEMSセミナー（1999年12月）
一括投影露光装置 PDF（633KB）

レーザー学会学術講演会第20回年次大会（2000年1月）
露光用3kHzArFエキシマレーザーの開発 PDF（683KB）

第60回応用物理学会学術講演会（1999年9月）
露光用2kHzArFエキシマレーザーの開発 PDF（615KB）

ディスプレイ　アンド　イメージング　1999,Vol.7（1999年7月）
プロジェクター用メタルハライドランプ PDF（512KB）

月刊ディスプレイ　平成11年11月号（1999年11月）
DVD対応ショートアークキセノンランプ PDF（408KB）

レーザー研究　'99/8号（1999年8月）
CsLiB₆O₁₀結晶（CLBO）を用いた193nm光源の開発 PDF（670KB）

月刊電子材料　新年号（2000年1月）
微細加工用全固体紫外線レーザー装置とその応用 PDF（715KB）

表面処理技術ハンドブック（2000年1月）
エキシマUV PDF（537KB）

ガラス微少キズ検査光源装置の標準化 PDF（344KB）

三重大学　工学部　分子素材工学科　分子設計化学講座
有機機能化学研究室　富岡秀雄教授
光が変える、有機の世界を探る PDF（488KB）

Electronic Journail '99/3月号
次の主役はステップ&リピート方式　フレキシビリティと高精度で挑む PDF（358KB）

オプトニューズ '99 No.2
次の主役はステップ&リピート方式　フレキシビリティと高精度で挑む PDF（420KB）

照明学会誌（論文号）VOL.83 '99 No.5
Xe₂*エキシマランプを用いたUV/O₃洗浄の検討 PDF（498KB）

（RAD TEC REPORT 1998年 8/9月号掲載（米国） PDF（913KB）

• 1.電子線の基礎「低電圧」か「超低電圧」か知って頂きたい事柄
• 2.超小型電子線照射管 Min-EB
• 3.超小型電子線照射装置 Min-EB labo
• 4.電子線照射における各種データ

神奈川大学 工学部 応用化学科 高分子化学 西久保研究室　西久保忠臣教授
50年先、100年先を見据えて、オプトエレクトロニクスからオプティクスの時代へ PDF（466KB）

明治大学 理工学部 物理学科 光物性研究室　松本節子教授
光物性物理学の基礎研究から創造力溢れる人材を育てる PDF（438KB）